标签: 纳米集成电路
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《纳米集成电路制造工艺（第2版）》是2017年清华大学出版社出版的书籍，作者是张汝京等。这是国内首本关于纳米集成电路制造工艺的著作。半导体产业领军人物张汝京组织，顶级半导体代工厂一线科研人员编写，清华大学王志华教授作序推荐。
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