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加速仪
标签: 加速仪
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采用综合法封装MEMS加速仪
所需E币: 3
时间: 2019-12-28 19:57
大小: 5.41MB
上传者:
wsu_w_hotmail.com
MEMS封装系统应有MEMS执行感应功能,而且还要避免受到外界环境的影响,同时持续地改进质量,达到较高的ppm性能。本文采用SOIC封装,必须维持一个特定的共振频率,从而防止传感器被粘住或卡住。同时,封装必须确保传感器是可靠和完整的,没有出现断裂或输出偏差。本文采用一种综合学科研究方法,以确定合适的固晶材料来彻底解决器件断裂的问题。这种方法涉及振动分析、电气响应测定、压力分析和断裂力学。……
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