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传统CMOS工艺缩放技术的发展正逐渐逼近极限，迫切需要采用新材料和新器件设计AGREATERMEASUREOFCONFIDENCE最小。间歇式测量通过只用三项测量来减少“无应力（off-stress）”时面向BTI特征分析的在间，如图1所示。几乎所有的参数测量系统都支持这种技术。但是，大多运行中阈值电压测量数GPIB控制的仪器都缺乏灵活性，并且受限于GPIB通信时间和仪器的内部速度。因此，器件在测量过程中仍会……