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电化学加工技术 - 原理、工艺及应用

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电化学加工技术-原理、工艺及应用
深孔加工技术-王世清-西北工业大学出版社

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微纳米加工技术及其应用

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《微纳米加工技术及其应用》是2009年高等教育出版社出版的图书，作者是崔铮。本书总结多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。
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表面活性剂在半导体硅材料加工技术中的应用

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