(转自ADI资源中心。原文需要先注册才可以下载,比较麻烦。)
问:随着时间的发展,电子器件是否真的会发展到完全没有活动零件的阶段?
答:没有错, 在机械物体中,随着活动零件的减少,由其摩擦所致的磨损也随之降低,因而机械的可靠性确实会提高。然而,有一种IC,必须借芯片表面的活动零件而工作。这种IC就是微机电系统(也称为MEMS)。这些系统采用标准IC工艺技术,来制造芯片表面的金属、硅和硅石结构。这种结构可以被设计成活动结构,从而能执行许多有用的功能...
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