可直接对金属线做切断、连接或跳线处理.相对于再次流片验证,先用FIB工具来验证线路设计的修改,在时效和成本上具有非常明显的优势.
系统分类: 晶圆工艺 | 用户分类: FIB聚集离子束 | 来源: 原创
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