丰桥科技大学(Toyohashi University of Technolog)最近演示了如何将GaN发射器和其他光学材料集成到硅衬底中。研究人员称已经解决了硅和III-V族材料晶格失配的问题,从而使未来硅芯片上引入光学部件成为可能。
硅光子学已经验证了大部分的光学功能,包括波导、谐振和开关,但是对于镓、砷、铟以及其他各种氮化物等III-V族材料的光发射依然是一个难题。
现在,丰桥科技(日本爱知县)该项目的负责人Akihiro Wakahara和其同事宣布,已经发明了一种减少硅和II-V族材料之间晶格失配的方法,从而使光发射器,包括激光器,可以集成于硅芯片上。
Wakahara的团队制作了一个一位光电计数器电路以作示意。该电路在同一块芯片上同时具备硅场效应晶体管(FET)和氮磷化镓(GaPN)LED。解决硅和III-V族材料之间晶格失配的关键,是通过使用增强迁移的III–V–N合金生长一层磷化镓(GaP)薄膜外延。由此产生的晶格匹配的Si/GaPN/Si异质结构再采用双腔分子束外延(MBE)法来生长在硅衬底上。
原文链接:http://www.eet-china.com/ART_8800638840_480701_NT_5ec9c94a.HTM
cj578009030_531948212 2011-3-29 13:00