原创探针台是如何工作的

 2024-3-2 13:59  229 4 4 分类: 测试测量文集: 探针台

探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。

机械手放置在平台的平面上，并在机械手中插入探针臂和尖端。探头尖端必须适合要执行的测试程序。然后，用户通过调整相应的操纵器将探针尖端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触；现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆，在测试第一个器件后，可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针尖端的过程，直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成，但如果载物台和机械手是电动的，并且显微镜连接到计算机视觉系统，那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量，并减少运行多个测试所需的劳动力。