标签: 半导体测试仪器

产品概述： 本仪器系统由：电磁铁、电磁铁电源、高精度恒流源高精度电压表、高斯计、霍尔效应样品支架、标准样品、系统软件。为本仪器系统专门研制的 JH10效应仪将恒流源，六位半微伏表及霍尔测量复杂的切换继电器——开关组装成一体，大大减化了实验的连线与操作。JH10可单独做恒流源、微伏表使用。用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数等重要参数，而这些参数是了解半导体材料电学特性必须预先掌控的，因此霍尔效应测试系统是理解和研究半导体器件和半导体材料电学特性必*的工具。 实验结果由软件自动计算得到，可同时得到体载流子浓度(Bulk Carrier Concentration)、表面载流子浓度(Sheet Carrier Concentration)、迁移率(Mobility)、电阻率(Resistivity)、霍尔系数(HallCoefficient)、磁致电阻(Magnetoresistance)等。 此处只列出系统的主要技术指标。 可测试材料: 半导体材料：SiGe, SiC, InAs, InGaAs, InP, AlGaAs, HgCdTe 和铁氧体材料等； 低阻抗材料：石墨烯、金属、透明氧化物、弱磁性半导体材料、TMR 材料等； 高阻抗材料：半绝缘的 GaAs, GaN, CdTe 等。 技术指标： * 磁 场：10mm 间距为 2T ,20mm 间距为 1.3T * 样品电流：0.05uA~50mA(调节 0.1nA) * 测量电压：0.1uV~30V ▲ 提供各类测试标准材料，各级别硅与砷化镓（灵敏度与精度不同） **小分辨率：0.1GS * 磁场范围：0-1T * 配合高斯计或数采板可计算机通讯 * I-V 曲线及 I-R 曲线测量等 * 霍尔系数、载流子浓度等参数的变化曲线 * 电阻率范围：5*10-5～5*102Ω.cm * 电阻范围：10 m Ohms~ 6MOhms * 载流子浓度：5*1012～51*1020cm-3 *霍尔系数：±1*10-2～±1*106cm3/C * 迁移率：0.1~108cm2/volt*sec *测试全自动化，一键处理

探针台 可以按照使用类型与功能来划分，也可以按照操作方式来划分成： 手动探针台 、 半自动探针台 、 全自动探针台 。 手动探针台 系统顾名思义是手动控制的，这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器 /操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点，非常适合研发人员使用。 全自动探针台 相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元 (MHU)和模式识别undefined(自动对准)。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作，通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。