标签: 实验台

手动探针台是一种手动控制的探针台，通常用于没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下。该类探针台的优点是灵活、可变性高，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、 PC 或软件。手动探针台系统只需要少量的培训，因此非常适合研发人员使用。 1. 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2. 使用卡盘 X 轴 /Y 轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3. 使用卡盘 X 轴 /Y 轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4. 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品 x-y ，将影像调节清晰 , 带测点在显微镜视场中心。 5. 待测点位置确认好后 , 再调节探针座的位置 , 将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边 , 再使用探针座 X-Y-Z 三个微调旋钮 , 慢慢的将探针移至被测点 , 此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用 Y 轴旋钮将探针退后少许，再使用 Z 轴旋钮进行下针，最后则使用 X 轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。 6. 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。

1. 避免碰撞：在安装，操作 探针台 时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。 2. 仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到 探针台 的任何运动部件。 3. 仪器的存放：使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。 探针台 机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。 探针台 光学部件清洁时，可用镜头纸蘸wu水jiu精从中间向外轻轻的擦拭。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要 ** 作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。 4. 工作环境： 探针台 应放在稳定可靠的台面上，最好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

随着电子技术的不断发展，越来越多的精密细小器件逐步开放和增长，作为对细小器件检测的bi备仪器—探针台也显得越来越重要。探针台可以将待测器件进行放大几十到上千倍，可将微观层面的东西搬到宏观上来进行研究，连接测试仪器仪表进行测量。那么如何选择一款适合的探针台显得尤为重要。 第一，我们需要选择合适尺寸的样品座，会有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分，如果我们测试的样品是大的晶圆或器件，我们还需要注意的是，探针是否能满足扎到样品的任意位置。 第二，我们选用探针臂的数量和类型，可以最多同时搭载6个探针臂，探针臂的类型有直流臂、射频臂和微波臂，会配备相应的探针。 第三，因为不同的测试，我们需要对应的测试环境，我们可以选择是否带有磁场，磁场是固定的还是变磁场，对应的就要配备永磁铁和电磁铁。 第四，我们的测试是否有温度需要，我们需求的温度范围是多少，有室温、4K-室温阶段（真空下）、有液氮温度-800K（真空下），对应的是室温手动探针台、4K闭循环探针台、液氮高低温真空探针台。 第五，我们需要明白自己的测试样品是多大的电极点或者Pad点，需要选择一款适合自己显微镜系统，有最小识别3μm、1μm、0.1μm之分，因为随着显微镜的放大倍数的增大，相应的显微镜的工作距离会缩短（物镜到样品表面的距离），我们要考虑关于工作距离的要求，同时一般建议我们探针直径最好是不大于Pad点的四分之一，利于扎针和测试。 第六，如果我们探针台的放置位置有空间尺寸的限制，我们需要考虑整体探针台的大小尺寸。 总体来说，如何购买一台适合自己的探针台，我们需要考虑多方面的内容。可以根据每家探针台厂家的参数及价格进行对比，最终可以买到一台适合自己需求的设备。

概况： 锦正茂 JZM-D30 室温探针台的诸多设计都是专用的，探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场型号，电源型号，磁场值，样品台的尺寸等，除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用，可以提高磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。 技术参数： ※磁场型号 :EM3 加长版 ※电源型号 :JP10-40 ，优于 50ppm ※磁场值 1000Gs@60mm 间距 ※磁场分辨率 : 优于 0.1Gs ※三维探针座 : 高精度三维探针座 4 个 ※载物台直径 :30mm ※ Y 轴位移 -15mm 至 200mm, 精度优于 10 微米 ※ X 轴位移± 15mm, 精度优于 10 微米 ※ Z 轴行程 10mm, 精度优于 20 微米 ※ R 轴旋转 :360 度粗调，± 5 °范围内精调，精调精度 10' ※ 显微镜 : 体视显微镜，变倍范围优于 10-150 倍 ※机械加工精度优于 10 微米。 ​

探针台 可以按照使用类型与功能来划分，也可以按照操作方式来划分成： 手动探针台 、 半自动探针台 、 全自动探针台 。 手动探针台 系统顾名思义是手动控制的，这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器 /操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要很少的培训，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点，非常适合研发人员使用。 全自动探针台 相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元 (MHU)和模式识别undefined(自动对准)。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作，通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。