标签: 材料测试

晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针（ probe ），与晶粒上的接点（ pad ）接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被洮汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。 在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试。这步测试是晶圆生产过程的成绩单。在测试过程中，每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。晶圆测试也就是芯片测试（ die sort ）或晶圆电测（ wafer sort ）。 在测试时，晶圆被固定在真空吸力的卡盘上，并与很薄的探针电测器对准，同时探针与芯片的每一个焊接垫相接触。电测器在电源的驱动下测试电路并记录下结果。测试的数量、顺序和类型由计算机程序控制。测试机是自动化的，所以在探针电测器与第一片晶圆对准后（人工对准或使用自动视觉系统）的测试工作无须操作员的辅助。 测试是为了以下三个目标。第一，在晶圆送到封装工厂之前，鉴别出合格的芯片。第二，器件 / 电路的电性参数进行特性评估。工程师们需要监测参数的分布状态来保持工艺的质量水平。第三，芯片的合格品与不良品的核算会给晶圆生产人员提供全面业绩的反馈。合格芯片与不良品在晶圆上的位置在计算机上以晶圆图的形式记录下来。从前的旧式技术在不良品芯片上涂下一墨点。 晶圆测试是主要的芯片良品率统计方法之一。随着芯片的面积增大和密度提高使得晶圆测试的费用越来越大。这样一来，芯片需要更长的测试时间以及更加精密复杂的电源、机械装置和计算机系统来执行测试工作和监控测试结果。视觉检查系统也是随着芯片尺寸扩大而更加精密和昂贵。芯片的设计人员被要求将测试模式引入存储阵列。测试的设计人员在探索如何将测试流程更加简化而有效，例如在芯片参数评估合格后使用简化的测试程序，另外也可以隔行测试晶圆上的芯片，或者同时进行多个芯片的测试。 ​

晶圆探针台是一种成熟的工具，用于测试硅晶片、裸片和开放式微芯片上的电路和设备。 探针台允许用户将电子、光学或射频探针放置在设备上，然后测试该设备对外部刺激（电子、光学或射频）的响应。这些测试可以很简单，例如连续性或隔离检查，也可以更复杂，涉及复杂微电路的全功能测试。 探针台可以在整个晶圆上或被锯成单个芯片后运行测试。整个晶圆级的测试允许制造商在整个生产过程的不同阶段多次测试设备，并密切监控制造以查看是否存在任何缺陷。在最终封装之前对单个芯片进行测试可以将有缺陷的器件从流通中移除，确保仅封装功能器件。探针台在整个研发、产品开发和故障分析中都有很大的用途，工程师需要灵 阿 活而精确的工具来对设备的不同区域进行一系列测试。 让一个好的探针台与众不同并为您的测试增加价值的是它能够精确控制这些探针在设备上的位置、外部刺激的应用方式以及测试发生时设备周围的环境条件。 探针台由六个基本组件组成： Chuck — 种用于固定晶片或裸片而不损坏它的装置。 载物台 — 用于将卡盘定位在 X 、 Y 、 Z 和 Theta (θ) 上。 机械手 — 用于将探头定位在被测设备 (DUT) 上。 压板 — 用于固定操纵器并使探针与设备接触。 探头jian端和臂 — 安装在机械手上，它们直接接触设备。 光学 — 用于查看和放大被测设备和探头jian端。

探针台是一种精密的电子测试设备，主要用于 半导体行业、 光电行业 、 集成电路 以及 封装的测试。 探针台的主要功能是进行精密电气测量，以确保产品质量和可靠性，同时也能缩减研发时间和降低制造工艺的成本。它主要用于晶圆加工之后、封装工艺之前的 CP 测试环节，负责晶圆的输送与定位，确保从晶圆表面向精密仪器输送更稳定的信号，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试，实现更加精确的数据测试测量。探针台通常包括 载物台、 光学元件 、 卡盘、探针卡、 探针夹具及 电缆组件等部分。 此外，探针台也用于网络测量的工具，可以测量网络的延迟时间、吞吐量和丢包率等指标，从而评估网络的性能和可靠性。 ​

1. 避免碰撞：在安装，操作 探针台 时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。 2. 仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到 探针台 的任何运动部件。 3. 仪器的存放：使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。 探针台 机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。 探针台 光学部件清洁时，可用镜头纸蘸wu水jiu精从中间向外轻轻的擦拭。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要 ** 作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。 4. 工作环境： 探针台 应放在稳定可靠的台面上，最好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。

随着电子技术的不断发展，越来越多的精密细小器件逐步开放和增长，作为对细小器件检测的bi备仪器—探针台也显得越来越重要。探针台可以将待测器件进行放大几十到上千倍，可将微观层面的东西搬到宏观上来进行研究，连接测试仪器仪表进行测量。那么如何选择一款适合的探针台显得尤为重要。 第一，我们需要选择合适尺寸的样品座，会有2英寸、4英寸、6英寸、8英寸和12英寸之分，如果我们测试的样品是大的晶圆或器件，我们还需要注意的是，探针是否能满足扎到样品的任意位置。 第二，我们选用探针臂的数量和类型，可以最多同时搭载6个探针臂，探针臂的类型有直流臂、射频臂和微波臂，会配备相应的探针。 第三，因为不同的测试，我们需要对应的测试环境，我们可以选择是否带有磁场，磁场是固定的还是变磁场，对应的就要配备永磁铁和电磁铁。 第四，我们的测试是否有温度需要，我们需求的温度范围是多少，有室温、4K-室温阶段（真空下）、有液氮温度-800K（真空下），对应的是室温手动探针台、4K闭循环探针台、液氮高低温真空探针台。 第五，我们需要明白自己的测试样品是多大的电极点或者Pad点，需要选择一款适合自己显微镜系统，有最小识别3μm、1μm、0.1μm之分，因为随着显微镜的放大倍数的增大，相应的显微镜的工作距离会缩短（物镜到样品表面的距离），我们要考虑关于工作距离的要求，同时一般建议我们探针直径最好是不大于Pad点的四分之一，利于扎针和测试。 第六，如果我们探针台的放置位置有空间尺寸的限制，我们需要考虑整体探针台的大小尺寸。 总体来说，如何购买一台适合自己的探针台，我们需要考虑多方面的内容。可以根据每家探针台厂家的参数及价格进行对比，最终可以买到一台适合自己需求的设备。