半导体参数分析仪-如何使用-有什么中文资料面包板社区

概述： SPA-6100半导体参数分析仪是武汉普赛斯自主研发、精益打造的一款半导体电学特性测试系统，具有高精度、宽测量范围、快速灵活、兼容性强等优势。产品可以同时支持DC电流-电压(I-V)、电容-电压(C-V)以及高流高压下脉冲式I-V特性的测试，旨在帮助加快前沿材料研究、半导体芯片器件设计以及先进工艺的开发，具有桌越的测量效率与可靠性。基于模块化的体系结构设计，SPA-6100半导体参数分析仪可以帮助用户根据测试需要，灵活选配测量单元进行升级。产品支持Z高1200V电压、100A大电流、1pA小电流分辨率的测量，同时检测10kHz至1MHz范围内的多频AC电容测量。SPA-6100半导体参数分析仪搭载普赛斯自主开发的专用半导体参数测试软件,支持交互式手动操作或结合探针台的自动操作,能够从测量设置、执行、结果分析到数据管理的整个过程，实现高效和可重复的器件表征;也可与高低温箱、温控模块等搭配使用，满足高低温测试需求。产品特点： 30μV-1200V,1pA-100A宽量程测试能力；测量精度高,全量程下可达0.03%精度；内置标准器件测试程序，直接调用测试简便；自动实时参数提取，数据绘图、分析函数；在CV和IV测量之间快速切换而无需重新布线；提供灵活的夹具定制方案，兼容性强；免费提供上位机软件及SCPI指令集；典型应用：纳米、柔性等材料特性分析；二极管； MOSFET、BJT、晶体管、IGBT；第三代半导体材料/器件；有机OFET器件； LED、OLED、光电器件；半导体电阻式等传感器； EEL、VCSEL、PD、APD等激光二极管；电阻率系数和霍尔效应测量；太阳能电池；非易失性存储设备；失效分析；系统技术规格订货信息主要性能指标：低压直流I-V源测量单元 -精度0.1%或0.03%可选 -直流工作模式 -最大电压300V，最大直流1A或3A可选 -最小电流分辨率10pA -四象限工作区间 -支持二线，四线制测试模式 -支持GUARD保护低压脉冲I-V源测量单元 -精度0.1%或0.03%可选 -直流、脉冲工作模式 -最大电压300V,最大直流1A或3A可选，最大脉冲电流10A或30A可选 -最小电流分辨率1pA -最小脉宽200μs -四象限工作区间. -支持二线，四线制测试模式 -支持GUARD保护高压I-V源测量单元 -精度0.1% -最大电压1200V,最大直流100mA -最小电流分辨率100pA -一、三象限工作区间 -支持二线、四线制测试模式 -支持GUARD保护高流I-V源测量单元 -精度0.1% -直流、脉冲工作模式. -最大电压100V，最大直流30A ,最大脉冲电流100A -最小电流分辨率10pA -最小脉宽80μs -四象限工作区间支持二线、四线制测试模式 -支持GUARD保护电压电容C-V测量单元 -基本精度0.5% -测试频率10hZ~1MHz，可选配至10MHz -支持高压DC偏置，最大偏置电压1200V -多功能AC性能测试，C-V、 C-f、 C-t 硬件指标-IV测试半导体材料以及器件的参数表征，往往包括电特性参数测试。绝大多数半导体材料以及器件的参数测试，都包括电流-电压(I-V)测量。源测量单元(SMU) ，具有四象限，多量程，支持四线测量等功能，可用于输出与检测高精度、微弱电信号，是半导体|-V特性测试的重要工具之-。SPA-6100配置有多种不同规格的SMU,如低压直流SMU,低压脉冲SMU,大电流SMU。用户可根据测试需求灵活配置不同规格,以及不同数量的搭配，实现测试测试效率与开支的平衡。灵活可定制化的夹具方案针对市面上不同封装类型的半导体器件产品,普赛斯提供整套夹具解决方案。夹具具有低阻抗、安装简单、种类丰富等特点，可用于二极管、三极管、场效应晶体管、IGBT、SiC MOS、GaN等单管，模组类产品的测试;也可与探针台连接，实现晶圆级芯片测试。探针台连接示意图

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