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    2019-9-25 17:03
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    半导体分立器件I-V特性测试方案
    半导体分立器件是组成集成电路的基础,包含大量的 双端口或三端口器件,如二极管,晶体管,场效应管等。 直流 I-V 测试则是表征微电子器件、工艺及材料特性的 基石。通常使用 I-V 特性分析,或 I-V 曲线,来决定器 件的基本参数。微电子器件种类繁多,引脚数量和待 测参数各不相同,除此以外,新材料和新器件对测试 设备提出了更高的要求,要求测试设备具备更高的低 电流测试能力,且能够支持各种功率范围的器件。 分立器件 I-V 特性测试的主要目的是通过实验,帮助工 程师提取半导体器件的基本 I-V 特性参数,并在整个工 艺流程结束后评估器件的优劣。 随着器件几何尺寸的减小,半导体器件特性测试对测 试系统的要求越来越高。通常这些器件的接触电极尺 寸只有微米量级,这些对低噪声源表,探针台和显微 镜性能都提出了更高的要求。 半导体分立器件 I-V 特性测试方案,泰克公司与合作 伙伴使用泰克吉时利公司开发的高精度源测量单元 ( SMU )为核心测试设备,配备使用简便灵活,功能 丰富的 CycleStar 测试软件,及精准稳定的探针台,为客户提供了可靠易用的解决方案,极大的提高了用户 的工作效率。 吉时利方案特点 : 丰富的内置元器件库,可以根据测试要求选择所需要的待测件类型; 测试和计算过程由软件自动执行,能够显示数据和曲线,节省了大量的时间; 精准稳定的探针台,针座分辨率可高达 0.7um ,显微镜放大倍数最高可达 x195 倍; 最高支持同时操作两台吉时利源表,可以完成三端口器件测试。 测试功能: 二极管特性的测量与分析 极型晶体管 BJT 特性的测量与分析 MOSFET 场效应晶体管特性的测量与分析 MOS 器件的参数提取 系统结构: 系统主要由一台或两台源精密源测量单元( SMU )、 夹具或探针台、上位机软件构成。以三端口 MOSFET 器件为例,共需要以下设备: 1 、两台吉时利 2450 精密源测量单元 2 、四根三同轴电缆 3 、夹具或带有三同轴接口的探针台 4 、三同轴 T 型头 5 、上位机软件与源测量单元( SMU )的连接方式如下图所示,可以使用 LAN/USB/GPIB 中的任何一个接口进行连接。 系统连接示意图 : 典型方案配置 : 西安某高校现场演示图 安泰测试已为西安多所院校 、 企业和研究所提供吉时利源表现场演示 , 并获得客户的高度认可 , 安泰测试将和泰克吉时利厂家一起 , 为客户提供更优质的服务和全面的测试方案 , 为客户解忧 。