标签: 使用方式

手动探针台是一种手动控制的探针台，通常用于没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下。该类探针台的优点是灵活、可变性高，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、 PC 或软件。手动探针台系统只需要少量的培训，因此非常适合研发人员使用。 1. 将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。 2. 使用卡盘 X 轴 /Y 轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。 3. 使用卡盘 X 轴 /Y 轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。 4. 显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品 x-y ，将影像调节清晰 , 带测点在显微镜视场中心。 5. 待测点位置确认好后 , 再调节探针座的位置 , 将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边 , 再使用探针座 X-Y-Z 三个微调旋钮 , 慢慢的将探针移至被测点 , 此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用 Y 轴旋钮将探针退后少许，再使用 Z 轴旋钮进行下针，最后则使用 X 轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。 6. 确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。