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2011-6-17 10:15
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噪声会严重影响敏感电流测量。DUT的源阻抗和源电容都会影响SMU的噪声性能。 DUT的源阻抗会影响SMU的反馈安培计的噪声性能。当源电阻减小时,安培计的噪声增益将增大。 图 20 所示为反馈安培计的简化模型。 在该电路中: R S =源电阻 C S =源电容 V S =源电压 V NOISE =安培计的噪声电压 图20. 反馈安培计的简化模型 R F =反馈电阻 C F =反馈电容 电路的噪声增益可由下式给出: 请注意,当源电阻(R S )减小时,输出噪声增大。由于降低源电阻会对噪声性能产生不利影响,所以在 表 1 中根据电流测量量程给出了最小推荐源电阻值。 表1. 最小推荐源电阻值 量程 最小推荐源电阻 1 pA至100 pA 1 GΩ至100 GΩ 1 nA至100 nA 1 MΩ至100 MΩ 1 μA至100 μA 1 kΩ至100 kΩ 1 mA至100 mA 1 Ω至100 Ω DUT的源电容也会影响SMU的噪声性能。一般情况下,源电容增大时,噪声增益也随之增大。尽管最大 源电容值存在限值,但是通过连接一个电阻或正偏二极管与DUT串联,通常能够在更高的源电容值下进行测量。二极管作为一个可变电阻,当源电容的充电电流为高时,其阻值很小,然后随着电流的减小而增大。