标签: 半导体材料测试

探针台的分类可从多个维度进行划分，具体如下： 一、‌按操作方式分类‌ ‌手动探针台‌：晶圆载物台、显微镜及定位器需人工操作。 ‌半自动探针台‌：部分功能自动化，减少人工干预。 ‌全自动探针台‌：自动化程度高，适用于gao效率、gao精度测试需求。 ​二、‌按测试样品分类‌ ‌晶圆测试探针台‌：专用于半导体晶圆的性能测试。 ‌LED/功率器件/MEMS测试探针台‌：分别对应LED器件、功率半导体及微机电系统的测试。 ‌PCB/液晶面板/太阳能电池片测试探针台‌：适用于印刷电路板、显示屏及光伏器件的检测。 ‌材料表面电阻率/纳米器件测试探针台‌：针对材料表面电学特性及纳米级器件的分析。 三、‌按应用及测试环境分类‌ ‌高频/射频/微波测试探针台‌：用于高频信号场景下的测试。 ‌高/低温环境测试探针台‌：支持ji端温度（如超低温真空环境）下的器件性能评估。 ‌低电流（fA级）/高压/大电流测试探针台‌：满足微弱电流或高压大电流的测试需求。 ‌磁场/特殊气体环境测试探针台‌：适用于磁场或特定气体环境中的器件分析。 四、‌按功能组件分类‌ ‌显微镜类型‌：包括体视显微镜、金相显微镜等，用于精密操作观察。 ‌承载平台‌：含样品台、定位器平台等，适配不同尺寸晶圆（2~12英寸）及控温需求。 ‌移动组件‌：提供X/Y/Z轴及旋转（R/T）方向的精密定位功能。 五、‌按产品级别分类‌ ‌简易型‌：基础功能，适用于简单测试场景。 ‌标准型/分析型‌：满足常规实验室或研发需求。 gao 端型‌：集成高精度传感器及复杂环境模拟功能。 六、‌其他特殊分类‌ ‌非标准结构测试探针台‌：针对特殊器件或非标测试需求定制。 ‌直流/交流探针台‌：分别侧重直流电性能（如电压、电阻）或交流信号（如频率、相位）测试。 以上分类综合了探针台的操作模式、测试对象、环境适配及功能设计等核心要素，不同类别适用于半导体、光电、集成电路等领域的多样化测试需求。

低温型产品概述： 霍尔效应测试仪由电磁铁、电 磁铁电源 、高精度恒流源、高精度电压表、霍尔效应样品支架、标准样品、高低温杜瓦，控温仪，系统软件组成。为本仪器系统专门研制的 JH10效应仪将恒流源，六位半微伏表及霍尔测量复杂的切换继电器——开关组装成一体，大大减化了实验的连线与操作。JH10可单独做恒流源、微伏表使用。 技术指标： * 10mm间距为2T，30mm间距为1T * 样品电流：0.05uA ～ 50mA(调节0.1nA) * 测量电压：0.1uV ～ 30V * 提供各类测试标准材料，各级别硅与砷化镓（灵敏度与精度不同） * 分辨率极小值：0.1GS * 磁场范围：0-1T * 配合高斯计或数采板可计算机通讯 * I-V 曲线及I-R曲线测量等 * 霍尔系数、载流子浓度等参数随温度的变化曲线 * 电阻率范围： 5*10 -5 ～ 5*10 2 Ω.cm * 电阻范围：10 m Ohms ～ 6MOhms * 载流子浓度：5*10 12 ～ 51*10 20 cm -3 * 霍尔系数：±1*10 -2 ～ ±1*106cm 3 /C * 迁移率：0.1 ～ 10 8 cm 2 /volt*sec * 温度调节：0.1K * 温区：78K-325K,4K-325K（选配） * 测试全自动化，一键处理 * 可实现相同温差间的连续测量

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。 磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。 可选附件： þ各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线 þCCD或C-MOS视频成像装置 þChuck运动装置 þ电磁铁系统/超导磁铁系统 þ1Mpa正压系统升级 þ超高温升级选件 þ超高真空升级选件 þ各类探针夹具 þ屏蔽箱 þ防振桌 þ转接头 þ静音真空泵