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真空腔体是保持内部为真空状态的容器，真空腔体设计制作要考虑容积、材质和形状。 1、 根据应用需求选择腔体形状。几种代表性的真空腔体包括垂直真空腔体、水平真空腔体、立方真空腔体和球形真空腔体。 2、 根据获得真空度选择腔体材质。钛用于极高真空；铝用于超高真空；不锈钢用于高真空。 3、 法兰： CF 法兰，是一种用于超高真空中的法兰连接，是一种金属静密封，可以承受高温烘烤，适用的真空度最高达到 10 -12 mbar 。 KF 法兰，应用在真空系统中的一张快卸法兰，它由以下几个元件构成：两个成对称分布的 KF 法兰、 O-Ring 、定心支架、卡箍。不需要是用别的东西，只要简单地用手拧动蝶形螺母就可以松开或压紧连结、适用于真空度最高达到 10 -8 mbar 。 4、 观察窗：观察窗是安装在真空鼻腔上的一个窗口零部件，可以通过该窗口传输紫外线、可见光及红外线等各种光波及电磁波。锦正茂科技生产可拆卸观察窗是在标准法兰上进行加工，可以安装玻璃片的一种视窗，可以更换不同材质的窗片，一般采用石英窗片，也可以选硅硼窗片等其他特殊光学窗片。

真空腔体是保持内部为真空状态的容器，其 制作要考虑容积、材质和形状。不锈钢是目前超高 真空系统 的主要结构材料。 具有优良的抗腐蚀性、放气率低、无磁性、焊接性好、导电率和导热率低、能够在 -270—900℃工作等优点，在高真空和超高真空系统中，应用广泛。 近年来，为了降低真空腔体的制作成本，采用铸造铝合金来制作腔体也逐渐普及。另外，采用钛合金来制作特殊用途真空腔体的例子也不少。 　　为了减小腔体内壁的表面积，通常用喷砂或电解抛光的方式来获得平坦的表面。超高真空系统的腔体，更多的是利用电解抛光来进行表面处理。 焊接是真空腔体制作中重要的环节之一。为避免大气中熔化的金属和氧气发生化学反应从而影响焊接质量，通常采用氩弧焊来完成焊接。氩弧焊是指在焊接过程中向钨电极周围喷射保护气体氩气，以防止熔化后的高温金属发生氧化反应。 超高真空腔体 的氩弧焊接，原则上必须采用内焊，即焊接面是在真空一侧，以免发生虚漏。 真空腔体的内壁表面吸附大量的气体分子或其他有机物，成为影响真空度的放气源。为实现超高真空，要对腔体进行 150—250℃的高温烘烤，以促使材料表面和内部的气体尽快放出。烘烤方式有在腔体外壁缠绕加热带、在腔体外壁固定铠装加热丝或直接将腔体置于烘烤帐篷中。比较经济简单的烘烤方法是使用加热带，加热带的外面再用铝箔包裹，防止热量散失的同时也可使腔体均匀受热。