标签: 真空探针台

在选购真空探针台的时候我们需要注意 的 问题 如下： （1）真空度的要求 （2）测试类型：如直流或高频 （3）样品分辨率要求 （4）样品尺寸 （5）探针操作装置数量 （6）探针操作精度要求 （7）测试精度：如fA/pA/nA的要求 （8）其它预留接口要求。如光纤接品。 （9）其它组件的配置

锦正茂高低温真空磁场探针台是具备提供高低温、真空以及磁场环境的高精度实验台，它的诸多设计都是专用的。因此，高低温磁场探针台的配置主要是根据用户的需求进行选配及设计。例如，要求的磁场值，均匀区大小、均匀度大小、样品台的尺寸等，均于磁力线在一定区域内产生的磁通密度相关联；位移台还可与磁流体密封搭配，实现水平方向二维移动和样品台360度转动；除此之外，该探针台和我司自主研发的高精度双极性恒流电源搭配使用户，可以磁场的高稳定性。因此，该类型的探针台主要依据客户的使用情况进行设计优化。 锦正茂高低温真空磁场探针台探针台配备4个（可选6个或8个）拥有高精度位移的探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等，广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。 测试范围： 磁特性测试、微波特性测试、直流、RF特性测试，微电子机械系统，超导电性测试，纳米电路的光电属性，量子点和线，高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

随着电子技术的不断发展，对于精密微小（纳米级）的微电子器件，要去测试它的基本电学性能（如电流、电压、阻抗等） 时配有显微镜的高精度探针台能够提供良好的电测环境。通过显微镜和 CCD 将待测器件放大，用高精度微探针对待测器件进 行扎针再外接电学测试仪表进行测试和分析。此外，对于一些怕氧化、需要保存在真空中的器件，即便在电学测试的过程中 也需要将样品置于真空环境中，因此室温真空探针台是这种类型测试的不er选择。 室温真空探针台能够为半导体芯片的电学参数测试提供一个室温真空测试环境，通过外接不同的电学测量仪器，可完成集成 电路的电压、电流、电阻以及 IV 曲线等参数检测，用于室温真空环境下的芯片、晶圆和器件的非破坏性电学测试。