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CINNOResearch产业资讯， 韩国显示设备厂商 Olum Material（前身为 T eziotech）正在挑战XR设备 用 OLEDoS S hadow Mask 市场 。 Olum Material已 着手 开发用于 OLED oS的FMM （精细金属掩模版） ，该 FMM 采用 在硅 基板 上涂覆 I nvar （殷钢合金）的 电铸 合金的方式 。去年三星显示收购了美国 O LED oS公司eMagine后，基于硅 基板 的 方式 已成为 O LED oS 用 Sh adow Mask技术的主要技术。Olum Material于去年4月启动的5000PPI O LED oS FMM政府开发 课题 将持续到明年 12月。 韩国显示设备厂商O lum Materials的 员工 正在检查用于 G 8 IT OLED的FMM （来源 ：O lum Material） 根据韩媒thelec报道，据业界1月19日消息，Olum Material目前正在执行一项韩国产业通商资源部的“AR（增强现实）·VR（虚拟现实）用5000PPI（ Pixels Per Inch ）级高分辨率的量产用OLEDoS FMM开发”课题。该课题的研究期间为去年4月至明年12月。去年的研究费预算为8.54亿韩元（约460万人民币）。 Olum Material计划通过在硅基板上以电镀合计的方式涂布FMM材料Invar（一种特殊的镍铁合金）的EST（Electroforming on Silicon Template）方式制作硅基板集成式FMM。 该项目第一年的开发内容为支持3000PPI以上的OLEDoS用8吋FMM开发。为此，有必要开发4微米（μm）以下的电镀合计技术和硅基板与电镀合计殷钢之间的结合技术。从第二年开始，预计将支持5000PPI像素密度，并开发12吋的FMM。 Olum Material所指的EST方式FMM估计类似于APS计划开发的基于硅基板的FMM。在过去的一年里，业界已有消息称，APS正在考虑开发一种“FDM”（Fine Dry etching Mask），该掩模版采用电镀合计方式将Invar涂布在硅基板上，通过曝光工艺和干法蚀刻工艺形成FMM图案，然后用背面蚀刻（Back Etch）方式切除形成图案的Invar背面的硅基板，仅将硅留在FMM边框上。 通过将硅留在FMM边框中，可以最大限度地减少FMM边框是金属时可能发生的“由硅片和FMM边框之间的热膨胀系数差异引起的变形”。将OLED蒸镀在硅晶圆时由于产生的热量会造成硅晶圆变形，如果FMM框架材料是硅，则可以减小由于与硅晶圆的热膨胀系数差异而产生的变形幅度。 除了正在通过激光图案化方式开展4000PPI FMM国家课题的APS之外，Olum Material也投入到硅基板的FMM的开发中。据评估，整体上看，基于硅基板的方式和通过电铸合计方式形成Invar将成为整个OLEDoS Shadow Mask的主要技术。 一位业内人士表示，“在传统的通过压延方式使Invar变薄的自上而下（Top Down）方式的FMM中，Invar厚度为10μm，像素密度仅可达到1000PPI。而如果最近正在开发的OLEDoS用FMM技术，采用通过电分解方式涂布Invar的自下而上（Bottom Up）方式，Invar厚度可以达到几μm，像素密度可以达到数千PPI”。并称，“基于硅基板方式的掩模版技术的崛起，很大程度上受到了三星显示收购eMagine的影响。 去年 5 月被三星显示收购的美国 OLEDoS公司 eMagine 目前使用的不是Olum Materials 和 APS 正在开发的框架上留下硅的硅基板金属Mask，而是使用材料为硅的Mask。在eMagine方式中，将氮化硅蒸镀在硅基板上，通过半导体光刻工艺制作图案，然后切除硅基板。在这种方式中，掩模材料不是金属，而是氮化硅。由于它是一种硅材料，因此具有难以清洁和反复使用的缺点，但它主要用于为美国国防部制造OLEDoS，与经济性相比可靠性更为重要。

11月5日至11月10日，第六届中国国际进口博览会在上海新国际博览中心举行。八方客商，通过“进博之窗”感知中国。湖畔光芯此次以“新朋友”的身份，加入了进博会的“大家庭”，通过“方寸之间”的硅基Micro OLED微型显示器，展现了“在中国，为世界”的湖畔力量。 松下MeganeX VR眼镜中国首秀 光影世界，屏连万物。11月5日至11月10日，在第六届进博会创新孵化专区，湖畔光芯的微屏大“视”界，让元宇宙的未来生动呈现，让人眼前一亮。 进博会期间，湖畔光芯带来了加载其低功耗、高刷新率、高分辨率的硅基Micro OLED显示器的日本松下MeganeX VR眼镜，并于11月8日，举行了中国首秀揭幕仪式。此款眼镜内，配置了湖畔光芯在全球率先批量出货、全球最大尺寸的1.31英寸硅基Micro OLED显示器，这是行业内首次将采用硅基Micro OLED显示器的VR智能眼镜交付给实际客户。轻量化、高分辨率、高动态范围的MeganeX VR眼镜，惊艳众人。 多强联合，携手未来 11月8日，湖畔光芯正式与中国电子院等重量级合作伙伴在上海签署一系列战略合作协议，在多领域建立多强携手的深度战略合作伙伴关系，打造硅基微型显示产业的科技人才高地和产业聚集区。 湖畔光芯与中国电子院将在项目建设、产线效能提升、科研平台共建等方面展开深度合作，共同在中国微显示产业领域聚焦发力，塑造新的产业格局。 同时，湖畔光芯引进国际领先的科技与设备厂商，打造世界一流的数字化、智能化硅基微显示工厂，新的工艺理念和产线，将大幅降低超高清、高亮硅基Micro OLED单位成本，并获得更好的亮度指标，解决关键技术指标挑战。力争成为全球产业标杆。 【江苏省副省长方伟参观湖畔光芯展台】 湖畔光芯正以开放的胸怀、积极的姿态，与战略合作伙伴携手共进，共谋发展。 在此次进博会期间，商务部副部长盛秋平、江苏省副省长方伟、国机集团董事长张晓仑等领导参观了湖畔光芯展台，了解最新技术。同时，湖畔光芯也获得人民日报、央视一套等主流媒体的报道，引发了广泛关注。