标签: OLED薄膜封装工艺

CINNO Research产业资讯，德国化学材料专业厂商默克（Merck）正通过提供高端汽车显示解决方案，加速向柔性OLED市场的扩张。在柔性OLED的核心技术——薄膜封装（TFE）工艺中，默克导入了原子层沉积（ALD）方法，以替代传统的化学气相沉积（CVD）方法。 根据韩媒Sisajournal报道，据显示行业8月27日消息，默克公司已成功开发了一种适用于ALD工艺的前驱体，并将其应用于柔性OLED的薄膜封装过程中。据悉，这种新方式实现了极高的异物检测精度，接近零检测率。 与普通的刚性OLED相比，柔性OLED对面板的柔韧性有更高要求，因此采用聚酰亚胺（PI）基板替代传统的玻璃基板，通过层层堆叠无机膜和有机薄膜来实现薄膜封装。这种结构不仅赋予了面板弯曲的能力，还增强了其耐用性和灵活性。 现有的无机膜使用了通过CVD方法形成的前驱体。前驱体是指在显示屏和半导体工艺中用于堆叠薄膜的沉积过程中的基础材料。然而，随着显示屏技术的不断发展，厚度日益减薄，空气和湿气的渗透问题凸显，导致薄膜中杂质（颗粒）的形成。因此，默克公司采用了原子层沉积（ALD）技术，并持续加大研发投入。 ALD是一种通过将一层一层材料精确堆叠来制作薄膜的方法，可以实现极高的精度，这有助于降低杂质污染的程度，同时减小薄膜的厚度。 默克韩国OLED研究所长金俊浩表示：“ALD被认为是无机薄膜沉积领域的最佳解决方案之一，它在厚度控制、成分控制和均匀性方面展现出卓越的性能。” “在相对简单的工艺条件和较低的功率下，我们可以精确控制无机膜的厚度，同时确保碳和氮等杂质的含量非常低，接近于零”，他表示，“此处的零并不是绝对数字的含义，而是指达到了检出界限（分析设备所能检出的最少的量）以下的水准”。 “这表明使用ALD前驱体形成的薄膜是均匀且无缺陷的。薄膜的厚度几乎一致，没有气泡或其他缺陷，这是ALD工艺的一个显著优势。”他补充道。 展望未来，预计高端汽车市场对柔性OLED需求的持续增长。根据市场研究公司Omdia的最新预测，汽车OLED市场中的柔性产品出货量将实现飞跃式增长，从今年的100万片，到明年的200万片，至2031年将超过800万片大关，占据OLED总出货量的半壁江山。 另外，默克正在与三星显示和LG显示合作，共同开发OLED材料。LG显示开发了P-OLED产品，它结合了在PI基板上堆叠两层有机发光层的串联结构，并将其作为汽车用产品进行量产。三星显示也在不断扩大其基于柔性OLED技术的汽车产品阵容。 金俊浩表示：“除了持续深化ALD工艺的研发外，默克还在积极探索其他沉积方法的前驱体材料，如有机氯化合物和有机金属前驱体等。”