标签: 材料测量仪器

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。 磁场探针台就是在普通探针台的基础上，增加了磁性测量环境，包括一维、二维、三维磁场，还有水平或者竖直磁场等；既包括电磁铁，也包括亥姆霍兹线圈等。增加了磁场环境之后，结合探针台的优势，对于一些自旋电子学器件或者磁性传感器等的研究就会十分地方便。 磁场探针台主要包括磁场部分、探针台台面部分、探针座探针部分、显微镜部分、光学平台部分、位移台部分、测试线部分以及外接的测试仪表等，以上部分可以根据实际需求增加或者减少，磁场部分以及其它所需部分也可以根据需求进行特殊定制。

探针台使用后的存放相关介绍 1：使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。 2：探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。 3：探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水jiu精从中间向外轻轻的擦拭。无水jiu精是易燃物，注意使用安全。 4：停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。 5：操作人员必须严格按要**作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。 探针台 ​

探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将DUT定位在显微镜视野的中心。 机械手放置在平台的平面上，并在机械手中插入探针臂和尖端。探头尖端必须适合要执行的测试程序。然后，用户通过调整相应的操纵器将探针尖端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触；现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆，在测试第一个器件后，可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针尖端的过程，直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成，但如果载物台和机械手是电动的，并且显微镜连接到计算机视觉系统，那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量，并减少运行多个测试所需的劳动力。 ​

手动探针台、半自动探针台和全自动探针台是三种不同类型的探针台，它们在使用类型、功能、操作方式和价格等方面都有所不同。 手动探针台是一种手动控制的探针台，通常用于没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下。该类探针台的优点是灵活、可变性高，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。手动探针台系统只需要少量的培训，因此非常适合研发人员使用。 半自动探针台是一种半自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。与手动探针台相比，半自动探针台的操作相对简单，但需要使用者进行一些简单的操作，如移动晶圆载物台、调整显微镜焦距等。半自动探针台通常需要进行一些预设置，以便能够适应不同的测试环境。 全自动探针台是一种全自动控制的探针台，可以在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用。相比于半自动探针台，全自动探针台具有更高的精度和效率，可以在短时间内完成大量的测试操作。全自动探针台通常还配备有晶圆材料处理搬运单元(MHU)、模式识别(自动对准)等功能，以确保晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。全自动探针台通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。 总的来说，手动探针台适合研发人员使用，半自动探针台适合初学者使用，而全自动探针台适合具有一定经验的测试人员使用。不同类型的探针台各有优缺点，选择何种探针台主要取决于测试的需求和个人的技能水平。

探针台广泛应用于半导体、光电以及集成电路等行业，用于测试、调试和维修电子设备、电路板和芯片。 探针台具有以下优势： 1.能够确保相关产品研发的质量。 2.能够有效缩短研发时间和资金成本。 3.可以缩减器件的制作工艺成本。 4.具有更加可靠和省时省力的优势，可以缩减器件的制作工艺成本。 5.可以在真空条件下操作，提高了测试的准确度。 6.具有高刚性的硅片承载台和高精度的探针控制系统，有效提高了测试精度。 7.可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤，提高了测试灵活性。 8.具有优良的直流漏电控制能力，确保测试的安全性。