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  • 2025-1-2 11:15
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    半导体材料作为半导体产业链上游的重要环节,在芯片的生产制造过程中起到关键性作用。根据芯片制造过程划分,半导体材料主要分为基体材料、制造材料和封装材料。其中,基体材料主要用来制造硅晶圆或化合物半导体;制造材料主要是将硅晶圆或化合物半导体加工成芯片所需的各类材料;封装材料则是将制得的芯片封装切割过程中所用到的材料。 1、粘结材料 采用粘结技术实现管芯与底座或封装基板连接的材料,在物理化学性能上要满足机械强度高、化学性能稳定、导电导热、低固化温度和可操作性强的要求。在实际应用中主要的粘结技术包括银浆粘接技术、低熔点玻璃粘接技术、导电胶粘接技术、环氧树脂粘接技术、共晶焊技术。环氧树脂是应用比较广泛的粘结材料,芯片和封装基本材料表面呈现不同的亲水和疏水性,需对其表面进行等离子处理来改善环氧树脂在其表面的流动性,提高粘结效果。 2、陶瓷封装材料 用于承载电子元器件的机械支撑、环境密封和散热等功能。相比于金属封装材料和塑料封装材料,陶瓷封装材料具有耐湿性好,良好的线膨胀率和热导率,在电热机械等方面性能极其稳定,但加工成本高,具有较高的脆性。 3、封装基板 是封装材料中成本占比zui大的部分,主要起到承载保护芯片与连接上层芯片和下层电路板的作用。完整的芯片是由裸芯片(晶圆片)与封装体(封装基板与固封材料、引线等)组合而成。封装基板能够保护、固定、支撑芯片,增强芯片的导热散热性能,另外还能够连通芯片与印刷电路板,实现电气和物理连接、功率分配、信号分配,以及沟通芯片内部与外部电路等功能。 4、切割材料 晶圆切割是半导体芯片制造过程中重要的工序,在晶圆制造中属于后道工序,主要将做好芯片的整片晶圆按照芯片大小切割成单一的芯片井粒。在封装流程中,切割是晶圆测试的前序工作,常见的芯片封装流程是先将整片晶圆切割为小晶粒然后再进行封装测试,而晶圆级封装技术是对整片晶圆进行封装测试后再切割得到单个成品芯片。 目前主流的切割方法分为两类,一类是用划片系统进行切割,另一类利用激光进行切割。其中划片系统切割主要包括砂浆切割和金刚石材料切割,该技术起步较早shi chang 份额较大。激光切割属于新兴无接触切割,切割表面光滑平整,适用于不同类型的晶圆切割。 ​
  • 2025-1-2 10:31
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    半导体材料作为半导体产业链上游的重要环节,在芯片的生产制造过程中起到关键性作用。根据芯片制造过程划分,半导体材料主要分为基体材料、制造材料和封装材料。其中,基体材料主要用来制造硅晶圆或化合物半导体;制造材料主要是将硅晶圆或化合物半导体加工成芯片所需的各类材料;封装材料则是将制得的芯片封装切割过程中所用到的材料。 制造材料 1、光刻胶 光刻胶是光刻工艺的核心材料,其主要是通过紫外光、准分子激光、电子束、离子束、X射线等光源的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀刻材料。按照下游应用场景不同,光刻胶可分为半导体光刻胶、LCD光刻胶和PCB光刻胶。从组成成分来看,光刻胶主要成分包括光刻胶树脂、感光剂、溶剂和添加剂等。 在光刻工艺中,光刻胶被涂抹在衬底上,光照或辐射通过掩膜板照射到衬底后,光刻胶在显影溶液中的溶解度便发生变化,经溶液溶解可溶部分后,光刻胶层形成与掩膜版 wan全 相同的图形,再通过刻蚀在衬底上完成图形转移。根据下游应用的不同,衬底可以为印刷电路板、面板和集成电路板。光刻工艺是半导体制造中的核心工艺。 2、溅射靶材 靶材是制备电子薄膜材料的溅射工艺*不可少的原材料。溅射工艺主要利用离子源产生的离子,在真空中加速聚集成高速度流的离子束流,轰击固体表面,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体称为溅射靶材。 溅射靶材主要应用于半导体、平板显示和太阳能电池等领域。半导体对靶材的金属纯度和内部微观结构要求最高,通常要求达到99.9995%(5N5)以上,平板显示器、太阳能电池的金属纯度要求相对较低,分别要求达到99.999%(5N)、99.995%(4N5)以上。 3、抛光材料 化学机械抛光(CMP)其工作原理是在一定压力及抛光液的存在下,被抛光的晶圆片与抛光垫做相对运动,借助纳米磨料的机械研磨作用与各类化学试剂的化学作用之间有机结合,使被抛光的晶圆表面达到高度平坦化、低表面粗糙度和低缺陷的要求。 抛光垫和抛光液是最主要的抛光材料,其中,抛光液是一种不含任何硫、磷、氯添加剂的水溶性抛光剂,主要起到抛光、润滑、冷却的作用,而抛光垫主要作用是存储、传输抛光液,对硅片提供一定压力并对其表面进行机械摩擦,是决定表面质量的重要辅料。 4、电子特气 电子特种气体(简称“电子特气”)是仅次于硅片的第二大半导体原材料,下游应用广泛。电子特气是指用特殊工艺生产并在特定领域中应用的,在纯度、品种、性能等方面有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配置的二元或多元混合气(具体产品如下图所示)。电子特气是电子工业中的关键性化工材料,下游应用涵盖半导体、显示面板、光纤光缆、光伏、新能源汽车、航空航天等多个领域。 5、掩膜版 又称为光罩、光掩膜、光刻掩膜版,是半导体芯片光刻过程中的设计图形的载体,通过光刻和刻蚀,实现图形到硅晶圆片上的转移。通常根据需求不同,选择不同的玻璃基板。 6、湿电子化学品 又称为超净高纯试剂,主要用于半导体制造过程中的各种高纯化学试剂。按照用途可分为通用湿电子化学品和功能性湿电子化学品,其中通用湿电子化学品一般是指高纯度的纯化学溶剂,如高纯去离子水、氢氟酸、硫酸、磷酸、硝酸等较为常见的试剂。功能性湿电子化学品是指通过复配手段达到特殊功能、满足制造过程中特殊工艺需求的配方类化学品,如显影液、剥离液、清洗液、刻蚀液等,经常使用在刻蚀、溅射等工艺环节。在晶圆制造过程中,主要使用高纯化学溶剂去清洗颗粒、有机残留物、金属离子、自然氧化层等污染物。
  • 2024-12-31 17:54
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    又一企业重大突破,氧化镓技术创新飞跃,资本狂热追捧!
    2024年12月,杭州镓仁半导体有限公司在超宽禁带半导体材料领域取得重大突破。公司与下游客户合作携手对(010)面氧化镓半绝缘衬底进行了深入器件验证,成功制备出性能卓越的增强型晶体管。该晶体管击穿电压高达2429V,开关比大于10的7次方,器件栅漏间距30μm,栅宽3μm,关态漏电约10-7mA/mm。在同等条件下,镓仁衬底的器件指标显著优于进口衬底的器件验证结果(2080V)。 ​ 01 氧化镓的性能优势 氧化镓(Ga2O3)作为第四代超宽禁带半导体材料的杰出代表,以其卓越的性能在科技领域崭露头角。其禁带宽度高达4.8-4.9eV,远超碳化硅(3.25eV)和氮化镓(3.4eV),击穿场强理论值可达8MV/cm,是氮化镓的2.5倍、碳化硅的3倍有余。凭借出众的能效优势,氧化镓理论损耗仅为硅的1/3000、碳化硅的1/6、氮化镓的1/3,在高效能、低损耗的电力电子领域中具有巨大潜力。同时,它兼具出色的化学与热稳定性,制备工艺简洁高效,为大规模产业化应用奠定了基础。 ​ ​氧化镓存在多种晶相,其中最稳定的β‐Ga2O3最早作为可见光波导受到关注,而亚稳定相α‐Ga2O3具有更宽的带隙(5.3eV)和更高的折射率,可能在光电路平台上展现优异性能。 ​ ​ 02 技术创新与突破 杭州镓仁半导体有限公司成立于2022年9月,是一家专注于第四代半导体——氧化镓等宽禁带半导体材料的研发、生产和销售的科技型企业。公司在氧化镓单晶生长技术上不断取得创新突破。2024年3月,公司采用杨德仁院士团队自主开创的铸造法,成功制备了6英寸高质量氧化镓单晶衬底;4月,又推出了2英寸晶圆级(010)氧化镓半绝缘单晶衬底,并实现了自主量产,成为全球唯一的晶圆级(010)氧化镓衬底供应商;9月,公司再推首台国产氧化镓专用VB法长晶设备,填补了国内技术空白,为国产氧化镓材料行业的发展注入了新的动力。 ​ ​近期,除镓仁半导体氧化镓技术取得进展外。日本东京大学在α-Ga2O3领域也成功实现了重大突破。日本东京大学先端科学技术研究中心研究团队成功利用氧化镓的亚稳相α-Ga2O3制作了可见光区域的单模波导,并观测到了光导波。他们采用Mist-CVD法在蓝宝石衬底上生长了200nm厚的高质量α-Ga2O3薄膜,并通过PECVD法、光刻工艺和RIE刻蚀等步骤完成了波导结构的制作。波导宽度为1μm,两端配置了光栅耦合器。通过本征模式计算确认该结构为TE偏光的单模导波路,并成功观察到红光在波导中的传输,还验证了弯曲半径为20µm的弯曲波导的TE偏光光波导特性。研究人员指出,通过降低表面粗糙度可进一步抑制光损耗和散射,未来计划改进工艺提升波导性能。 ​ 显示弯曲波导中波导的CCD图像 ​ 03 资本青睐与市场前景 随着氧化镓技术的不断突破和性能优势的逐渐显现,越来越多的资本开始关注并投资于这一领域。11月14日,知名投资机构力合科创宣布圆满完成了对广州拓诺稀科技有限公司的数百万天使轮投资。拓诺稀科技作为氧化镓(Ga2O3)外延薄膜制备及高性能半导体器件研发的领先企业,一直致力于氧化镓外延薄膜的精湛制备与高性能半导体器件的创新开发。 ​ ​市场相关机构预测,至2030年,氧化镓功率元件市场规模有望突破数百亿元人民币。氧化镓作为后起之秀,正以其卓越的性能表现和广阔的应用前景,悄然改变着整个行业的格局。 ​ ​ 说明:来源未来产链,部分数据来源于网络资料。文章仅供行业人士交流,发布仅为了传达一种不同观点,不代表对该观点赞同或支持。如果有任何问题,请联系我:Lucy(微信)18158225562
  • 2024-12-30 18:02
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    英诺赛科成功上市,氮化镓功率半导体引领者全“芯”启航
    北京时间2024年12月30日, 氮化镓功率半导体引领者英诺赛科(苏州)科技股份有限公司(以下简称“英诺赛科”)在香港联合交易所主板挂牌上市,股票代码02577.HK 。上市当天,英诺赛科领导团队共同在香港敲响了开市钟,庆祝公司股票首日上市交易。 英诺赛科是一家专注于第三代半导体氮化镓研发与制造的高新技术企业,拥有全球最大的氮化镓功率半导体生产基地,产品覆盖氮化镓晶圆、氮化镓分立器件、合封芯片、模组等,可广泛应用于消费与家电、数据中心、汽车电子、新能源与工业等领域。 当前,英诺赛科已与OPPO、Vivo、小米等知名手机厂商,安克、绿联等电商,速腾、禾赛等新能源汽车领域厂商,以及家电、储能行业的头部企业建立了密切合作关系,其产品InnoGaN也在手机OVP、快充、车载激光雷达、车载PD、家电马达驱动、工业电机驱动、数据中心服务器电源、BMS电池管理、储能双向变换器、光伏MPPT等产品中大批量量产。 2023年,以折算氮化镓分立器件出货量计算,英诺赛科在全球氮化镓功率半导体公司中市场份额排名第一,市占率达42.4%。截至2024年6月,累计出货量超过8.5亿颗。 敲钟仪式现场,英诺赛科董事长骆薇薇博士在发言中讲到,“英诺赛科是全球功率半导体革命的领导者,也是全球最大的氮化镓芯片制造企业。 此次在香港交易所的上市,是公司发展历程中的一个重要里程碑,标志着我们将以更广阔的视野和更坚定的步伐,迈向全球市场。英诺赛科相信GaN可以改变世界,打造更加绿色的地球家园。 作为全球氮化镓行业的领军企业,我们将持续专注技术创新,赋能全球客户体验高频、高效、绿色节能的氮化镓产品。” 随着在港交所主板的成功上市,英诺赛科有望借助国际资本市场的力量进一步提升其在全球氮化镓市场的地位。展望未来,公司将进一步加速技术创新和业务拓展的步伐,提升品牌影响力和市场竞争力,巩固其作为全球龙头的地位,在新一轮全球化产业竞争中创造更加辉煌的成就。 说明:来源英诺赛科。文章仅供行业人士交流,发布仅为了传达一种不同观点,不代表对该观点赞同或支持。如果有任何问题,请联系我:Lucy(微信)18158225562
  • 2024-12-30 10:36
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    上海瞻芯电子科技股份有限公司(简称“瞻芯电子”),近期推出的4款1200V 60A SiC肖特基二极管(SBD)产品,是专为高效、大功率变换系统应用而设计的。其中,TO247-2封装器件产品IV2D12060T2Z以其卓越的性能,满足了车规级可靠性标准(AEC-Q101)。该产品最高工作结温可达175℃,能够承受10ms高达300A的浪涌电流冲击,确保了系统在各种极端条件下的稳定运行。此外,其正向电压(Vf)具有正温度系数,在二极管并联应用时,能有效平衡电流,提高系统的灵活性与可扩展性。 01 深耕碳化硅功率半导体 瞻芯电子是一家自2017年起便在上海临港深耕碳化硅(SiC)半导体领域的高科技芯片公司,始终专注于碳化硅功率半导体和芯片产品的研发。近期公布的这4款1200V 60A SiC SBD产品,是公司基于浙江瞻芯SiC晶圆厂成熟SiC SBD工艺技术而开发的成果。产品顺利通过了严苛的1000小时高压高温反偏测试(HV-HTRB)和高压高温高湿反偏测试(HV-H3TRB)。以下是产品的详细列表: 02 国内首家6英寸SiC MOSFET企业 瞻芯电子是中国首家自主开发并掌握6英寸碳化硅(SiC)MOSFET产品及工艺平台的公司,已累计交付超过1000万颗碳化硅MOSFET产品,其中约400万颗成功应用于新能源汽车市场。 汽车应用是SiC技术的关键领域,瞻芯电子早在2022年3月即完成了首批包括SiC MOSFET、SiC SBD和驱动芯片在内的3大产品的车规级认证。2023年公司又推出了第二代SiC MOSFET。通过优化栅氧化层工艺和沟道设计,新一代产品比导通电阻降低了约25%,开关损耗显著降低,系统效率得以提升。 目前,瞻芯电子已量产122款产品,其中28款为车规级产品,涵盖SiC MOSFET、SiC SBD、SiC Module和栅极驱动芯片。未来三年,瞻芯电子将大幅提升车规级产品的占比,并计划推出多款重磅车规级产品,如适用于汽车主驱的SiC功率模块、<17mΩ MOSFET晶圆以及车规级SiC专用隔离型驱动芯片等,以满足汽车应用对门类更齐全、规格更丰富的碳化硅功率器件和驱动芯片的需求。 03 七轮融资助力碳化硅半导体事业腾飞 瞻芯电子自成立以来,已经完成了多轮融资,累计融资金额数亿元。其中包括B轮、Pre-B轮、战略融资和A+轮等多轮融资。投资方涵盖了小米产投、上汽集团、小鹏汽车、广汽资本、阳光电源、锦浪科技、昱能、宁德时代等知名产业投资机构。 在2023年2月28日的B轮融资中,瞻芯电子获得了数亿元的投资,投资方包括国方创新、临港城投、临芯投资、光速中国、光合创投、国中创投、广发信德、金石投资、钟鼎资本和长石资本等多家知名投资机构。融资的成功,不仅为瞻芯电子的蓬勃发展注入了强劲的资金动力,更充分彰显了市场对瞻芯电子卓越技术与优质产品的高度认可与信赖! 会议推荐 “2025未来半导体产业发展大会” 2025年 4月10-12日 苏州举行 点击扩展阅读: Flink:2025 未来半导体产业发展大会 Flink未来产链 以 “ 新材料,芯未来 ”为主题 , 从材料研发、加工工艺、装备优化、终端需求等产业难题入手。 重点聚焦 金刚石半导体 、 碳化硅、氮化镓、氮化铝、氧化镓、碳基电子等新型半导体技术、与封装集成、 微纳加工等方向, 挖掘未来半导体产业发展机遇。 会议话题 主题一:碳基半导体材料与器件产业发展 (一)碳基CMOS晶体管和集成电路的现状与挑战 1、碳基半导体材料设计与合成 2、碳基纳米材料在半导体中应用进展与产业化难点分析 3、碳基芯片最新进展与应用案例 (二)金刚石半导体商用化进程及难题解决方案 1、大尺寸金刚石晶圆制备技术与装备升级 2、批量化低成本金刚石晶片制备与商业化应用案例 3、金刚石薄膜热导/热阻精确测试 4、大尺寸金刚石低成本高质量磨抛 5、金刚石低温高质量键合、三维集成兼容工艺、性能测试 6、多芯粒AI芯片集成金刚石散热及可靠性 主题二:化合物半导体关键材料与功率器件 1、新型化合物半导体材料的探索与特性研究 2、化合物半导体材料的生长技术与质量控制 3、材料的掺杂技术与性能调控 4、化合物半导体功率器件的结构设计与优化 5、功率器件的制造工艺与挑战 6、化合物半导体功率器件的可靠性与寿命问题 7、高温、高压和高频应用下的功率器件性能要求与解决方案 8、化合物半导体功率器件在新能源领域的应用 9、通信与射频领域的化合物半导体功率器件需求 10、工业与医疗领域的化合物半导体功率器件应用 11、化合物半导体技术与其他先进技术的融合,如人工智能、物联网、传感器技术等 主题三:微纳加工与封装集成 1、异质融合布局 2、先进键合与封装技术 3、晶圆平坦化、等离子抛光 4、激光直写技术、激光加工(晶圆抛磨、切割等) 5、纳制造技术(纳米压印技术、刻划技术、原子操纵技术等) 说明:来源未来产链,部分数据来源于网络资料。文章仅供行业人士交流,发布仅为了传达一种不同观点,不代表对该观点赞同或支持。如果有任何问题,请联系我:Lucy(微信)18158225562
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