标签: 偏移补偿

在确定并减小外部误差后，如果可能的话，可将测试系统的内部和外部偏移从将来的测量结果中减去。首先，如上所述，在输入戴有金属帽的情况下对SMU进行自动校准。然后，确定每个SMU至探针的偏移。利用软件中的公式计算器工具，可将该平均偏移从随后的电流测量结果中减去。为了进行极低电流的测量，应定期重新测量平均偏移电流(至少每月一次)。 结论 当配备可选的吉时利4200-PA型远程前置放大器时，4200-SCS型半导体特性分析系统可准确测量pA级或更小的电流。应通过测量整个测量系统的偏移电流来确定系统的限制，必要时进行调节。可采用一些技术减小测量误差源，例如屏蔽、保护、仪器的正确接地，以及在KITE软件中选择合适的设置，包括留有足够的建立时间。吉时利的 低电平测量手册 提供了关于优化低电平测量技术的更多信息。 更多参考 Keithley Instruments， 4200-SCS 型参考手册 ，第5章 (含在系统软件中) Keithley Instruments， 低电平测量手册， 2004年第6版。