标签: 纳米技术
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近日Forbes撰文阐释了未来十年内对人类社会产生重大影响的新技术，其中包括基因组学、纳米技术以及机器人技术，现将原文编译如下：许多人视科技改变 世界为信条。但经济学家罗伯特·戈登在其新书《美国成长兴衰》（ The Rise and Fall of American Growth）中却有着不同的观点。他指出，美国社会的生产率在1920年至1970年保持了爆发式的高速增长，以后就一直处于停滞不前的状态。 究其原因，他认为在这个特定时期，诸如电力、内燃机以及抗生素等早期技术对生产率的影响力已经有限，而新的数字技术尚未完全兴起。严格地讲，也许戈登的观点正确，但其并未考虑社会中的重要二阶效应的影响。 计算机科学家和发明家雷·库日韦尔（Ray Kurzweil ）在2005年出版的《奇点临近》（The Singularity Is Near）中指出，数字技术的终极发展目标并不是更好的设备和应用，而是基因组学、纳米技术以及机器人技术的盛行。现在，这些新技术刚刚兴起，但在未来十年这些技术将验证库日韦尔的论断正确与否。 基因组学——解密更为强大的密码 众所周知，硅谷工程师以强大的计算机编码能力享誉社会。而计算机指数式的发展使得科学家有能力揭生物遗传密码的奥秘，作为基因组学的新领域，遗传密码学的发展前景广阔。 首先，新的基因组学技术将被用于肿瘤的治疗。对肿瘤基因组图谱的深入分析能够帮助患者查明引发肿瘤的基因组成，提出更有针对性的治疗方案，而不仅仅是定位肿瘤位置。这种方法特别是对前列腺癌以及乳腺癌患者来说更有针对性。可以说，结合新的免疫疗法，基于基因组学技术治愈肿瘤指日可待。 其次，基因组编组新技术CRISPR允许科学家能够对DNA序列进行编辑。这种技术可以对人类基因序列进行重新编组从根本上切断HIV等病毒的感染途径或是去除引发疾病的相关基因组成，譬如杜绝多发性硬化症等自身性免疫疾病的发生。此外，也可对微生物DNA进行重新编组，例如使酵母菌可以生产塑料等石油化工产品。 基因组学仅仅经过数十年的发展，还是一个非常年轻的学科。虽然我们对其的研究还非常的肤浅，但其已经从根本上改变我们对于疾病等的观念。上世纪问世的抗生素给医学的发展带来了深刻的变革，但其仅仅能够限制病菌的感染。而基因组学却有更大的潜力。 纳米技术——探秘真正的科技“底部” 1959年圣诞节过后几天，美国著名物理学家理查德·费曼（Richard Feynman）在美国物理学年会上作了题为“There’s Plenty of Room at the Bottom”的主旨演讲，这被意为纳米技术的起源。 如今，人类通过纳米技术发明了一系列新材料，诸如革命性的电子设备材料半导体量子点，其被应用于电子设备制造，使得计算机运行速度更快，电视机显示效果更好。纳米级的石墨材料超轻却具有超高强度，用于制造假肢和超导导线等诸多产品。 纳米技术将对人类社会产生更为深远的影响。以太阳能发电举例，目前的太阳能发电技术刚刚进入可行阶段，但在纳米技术的帮助下，十年后太阳能发电的成本将会降至目前的一半，二十年后将仅有现在成本的五分之一。能源制造约占到社会全部GDP的8%左右，因此纳米技术将对生产率产生巨大影响。 在以往的人类历史中，我们不得不受限于原材料的性质。而现在，我们可以根据需求来重新定制具备各种特性的原材料。诸如半导体量子点以及石墨烯等纳米技术已经成为现实。 机器人技术——带来机器人时代的崛起 第一个真正意义上的工业机器人诞生于1961年通用汽车制造工厂的流水线，其用于汽车车身焊接。在随后的几十年中，机器人在工厂中的作业比重越来越大，但往往是各自独立完成任务。1969年，随着第一台ATM机的问世，机器人开始面向公众提供服务。 今天，我们身边有越来越多的机器人。机器人制造公司Baxter，专为小型公司提供廉价工业机器人，在合作生产中这种机器人具备足够的安全性；Roomba的机器人，可以自动清洁家中地板；而软件机器人，可以定制个性化的旅行计划。从Baxter的工业机器人，到Roomba的家用机器人，再到软件机器人，它们已经成为现代生活的核心组成。 观察军用机器人，可以对机器人技术的未来略知一二。美国军方目前已投入数十亿美元用于相关技术，其部署了11000架无人机以及12000个地面机器人用于拆弹和运输。士兵们在与机器人的朝夕相处中甚至产生了感情，给它们起名字，甚至冒生命危险拯救它们。 我们还可看到，机器人已经逐渐融入公众生活。无人机已经用于农作物调查等商业行为，亚马逊也正在计划推出无人机送货服务。IBM开发Watson机器人协助医生诊断病情。随着技术的进一步发展，机器人将接管更多的人类工作，譬如驾驶货车送货等等。 创新从不是孤立的 戈登的论断值得认真对待。经过上世界90年代的较短时间后，现在我们已经看到这些数字技术的衍生技术已经开始对社会发展产生一些影响，尽管这种影响并不像电力、内燃机、抗生素等早期技术一样对社会带来变革力量。 但是戈登指出，历史上法拉第于1830年发明了发电机，而内燃机是在1870年问世，而这些发明对社会产生的变革作用在1920年至1970年才完全显现出来。在此期间，诸如转向技术、制动技术、高速公路技术、家电技术以及计算机技术都得到了长足发展。 事实上，创新从不是孤立的事件。创新需要对事物的新的见解，以及围绕这些见解产生的解决方法，随后才是一个行业或领域转型的开始。技术本身并不产生社会进步，而是需要我们为新技术找到可解决的关键问题，从而最大限度地在工作中发挥技术优势。 因此，尽管诸如智能手机应用很酷很炫，也为我们的生活带来了方便。但当衍生技术真正解决了新问题时，才是数字技术显现了对社会的真正影响。
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固态电池 在过去的几天里，我们讨论了一些有关于电池技术的问题，比如为什么智能手机和平板电脑的计算效能进步的如此之快，而电池技术却仿佛止步不前；以及手机续航差竟然是软件开发者的问题，因为他们的应用中含有大量无用的代码浪费了手机的能源和通讯资源。 我们明白了电池工业并非日新月异，但人们仍对未来怀有憧憬：至少，总有一天我的手机电池续航能超过一天吧！？ 在电池系列讨论的第三期里，我们将介绍一些当下以及未来的前沿电池/充电技术，当中也不乏有早就诞生、性能先进，但因为成本和安全性的考量未能大批量生产并进入千家万户的技术。因为，没准未来的某一天，手机待机超过 2 天，让您的特斯拉可以在京沪之间跑一个来回也说不定。 固态电池 大多数人都听说过固态硬盘，基本上可能没听说过固态电池吧？其实固态电池很好理解，因为现有的绝大多数电池都是"液态电池"，电解质为液态。 锂硫磺电池 密西根大学研究团队成立的一家名为 Sakti3 的公司正在研究一种新的固态电池，能量密度号称达到了每升容量 1100 瓦时，大约比现有的锂离子电池好 50% 左右——很可惜，固态电池的技术早已诞生，只是因为大批量生产成本/难度太高的原因被暂时搁置。还好，一直有研究人员在做出努力。 锂硫磺电池 氢燃料电池 使用纳米技术，将硫磺加入到现有的锂电池电解液化学成分当中，不仅能将其能量密度提升数倍，还可以延长使用寿命。一家名为 Sion Power 的公司过去获得了美国政府以及世界上最大的化学工业集团巴斯夫（BASF）的投资，该公司生产的锂硫磺电池号称可以达到每升容量 2600 瓦时的能量密度——很遗憾，锂硫磺电池技术和大多数其他高科技电池一样，想要以适宜市场的成本量产，还需要时日。 氢燃料电池 氢燃料充电宝 和化石燃料一样，氢燃料电池的放电方式也是化学反应，发生在氢燃料和氧化剂中间，而不采用燃烧的方式，直接将化学能转化为电能，因而提高了效率。氢燃料电池早在 1838 年就被发明出来，知道上世纪中叶美国航天局将其用于阿波罗飞船才算是正式商用。虽然燃料电池听上去感觉没那么安全，但看起来苹果未来没准会考虑将其放在自己的手机、电脑等计算设备当中，他们 2010 年曾经提交过一项燃料电池专利。 英国一家名为 UPP 的公司也已经在销售氢燃料充电宝，售价 149 英镑，但是不能重复充电，用完了之后只能更换新的电池，售价 6 英镑。 氢燃料充电宝 锂离子电池 看了这么多暂时用不上的电池技术，想必大家的心情一定是这样的：用不了的你跟我说有什么用？别着急，接下来这几种技术都已经比较成熟，有的你已经在使用，有的你很快就能体验到。 锂离子电池 快充技术 从上世纪 70 年代第一块锂离子电池制成，到 20 年之后索尼将这种技术正式商用投产，再到现在日趋成熟，锂离子电池技术已经度过了快 50 年的时间——你没有看错，从制备到大规模生产就跨越了 20 年的时间。50 岁的高龄，对于锂离子电池来说可不算老。因为其他前沿的电池技术因为种种原因还无法大量生产和使用，锂离子电池在未来相当长的一段时间里仍然有用武之地。而且，从降低生产成本、提高能量密度的方面来看，锂离子电池仍有非常大的改进空间。 特斯拉的电动车就采用的是自家的锂离子电池，如果你拆解过或者看过别人拆解特斯拉的电池，会发现里面就是由一个个像五号电池一样的电芯组成的。为了供应自家电动车，特斯拉在内华达州建造了一座超级电池工厂（Gigafactory），造价高达 50 亿美元。因为高技术工具投入量巨大，生产规模庞大，这座超级工厂的生产成本比普通的锂离子电池制造厂要低 30% 左右——很明显，其他电池厂商的改进空间还是很大的。 快充技术 无线充电/远距离/定向无线充电 其实电池技术的进步有很多个可努力的方向，比如单位能量密度提高、生产成本下降、放电效率提高、充电速度加快……没错，如果别的都很难搞定，至少我们可以让充电速度快一点。简单来说，同样电流电压高一倍，或者同样电压电流高一倍，充满一块手机电池的时间就会减少一些；当然，快充技术并没这么简单，它需要手机的芯片、主板以及电池等多个元件的配合，但如果你看一下你手头支持快充技术的充电器，会发现上面的标定电压电流基本就是上面提到的样子，一般会有两到三种不同的电压电流组合，从而实现在电池低电量时高压/高电流快充，快到满的时候减慢充电速率。 现在，高通、三星等知名移动技术厂商都有自家的快充技术，而由于这两家的移动芯片的市场份额，快充技术基本已经成为市场销售手机的标配。2015 年打算买手机？一定要看下手机是否支持快充，对生活质量有很大改善哦。 无线充电/远距离/定向无线充电 跟快充技术相比，无线充电技术更常见了。通过一个线圈接收一定功率的电波，将其转化为电流输入电池，各大智能手机厂商的旗舰手机大多已经支持或者可以通过更换配件来支持无线充电。然而，和无线充电相比还有更激进的做法，微软亚洲研究院的一个团队研究的方向就是超远距离的无线充电。场景：当用户携带手机进入充电范围内，识别器将会识别该设备，然后发射一道聚焦的可见光波，让支持无线充电的手机接收到并开始充电。为了保证安全，手机和充电设备之间通过发出不同颜色光的 LED 进行沟通，并且在有障碍物挡住的时候（比如有人穿过光波）就会立刻停止发光。 除了这种听上去更高科技的定向无线充电之外，更简单的方法就是更轻薄同时功率更高的无线充电板，未来将可以直接作为建筑装修材料安装在墙上、地面或者天花板上，当设备进入充电范围内将可以自动开始充电。
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据外媒24日报道，以色列一家公司研发出一种新型充电技术，只需充电30秒，就能给手机提供使用一天的电量，给电动汽车充电也只需几分钟时间。预计，这种技术将于2016年年末上市。 据报道，这家名为StoreDot的公司利用纳米技术合成的人造分子研发电池，能快速储存更多电量，就像一个能吸纳和储存电量的“超级海绵”。 目前原型电池的型号约是一个笔记本电脑充电器大小。该公司计划于2016年推出外形小巧的产品，仅需充电30秒，就能为智慧手机提供一天的电量。 StoreDot执行长迈尔斯多夫(Dr. Doron Myersdorf)表示，这是以前未研发过的充电材料，快充手机将会较目前款式贵100到150美元，可重复充放电1500次，相当于约3年使用寿命。
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据国际台报道，本周在美国凤凰城举行的因特尔国际科学工程大奖赛上，来自加利福尼亚州萨拉托加市的18岁印度裔女孩艾莎·卡瑞凭借革命性的充电器发明获得了5万美元大奖，并吸引了谷歌公司的注意。这种“超级电容器”体型更小，据称仅需20秒左右就可以充满一部手机，且能长时间保存电量，使被充电设备能使用更长时间。 印度裔女孩卡瑞今年只有18岁，其发明引起谷歌公司的关注 目前卡瑞只将该充电器在发光二极管上运用过，但她可以预见未来这一发明将可以用于手机、汽车或任何使用重复充电电池的设备。纳米化学系出身的卡瑞在这一发明上充分运用了纳米技术，保证其体型迷你，且能够处理上万个充电周期，比普通电池高10倍。目前谷歌公司已与卡瑞取得联系，试图探索她的新发明在更多使用电池的设备上的发展。
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译者的话前言第1章导论………………………11.1背景介绍……………………11.2概述…………………………11.2.1精密工程………………21.2.2微铣削和微型钻孔……31.3微机电系统…………………41.4微电子制造方法……………51.4.1体微加工………………61.4.2表面微加工……………61.5微型化仪器…………………71.6微机械电子…………………71.7纳米修整……………………71.8光变图像……………………81.9微能源和化学系统…………81.10空间微推进…………………91.11电子束纳米印刷……………91.12纳米技术…………………101.13碳纳米管及其结构………101.14分子逻辑门………………111.15纳米尺度生物传感器……121.16C60及其衍生物的化学交联………………………131.17燃料电池…………………131.18参考文献…………………13第2章微机电系统与微光机电系统原理…………………152.1概述…………………………152.2执行器的驱动原理…………162.3制造工艺……………………172.4机械微机电系统……………182.4.1机械传感器……………182.4.2加速度计、悬臂式传感器和电容测量……182.4.3扬声器…………………192.4.4陀螺仪…………………202.4.5机械执行器……………222.5热微机电系统………………222.5.1计温学…………………232.5.2数据存储应用…………232.5.3微型加热器气体传感器…………………242.5.4热执行器………………242.6磁微机电系统………………252.7微光机电系统………………282.8空间光调制器………………302.9数字微镜设备………………302.10光栅光阀（GLV）…………322.11参考文献…………………34第3章微制造中的激光技术……373.1概述…………………………37㊣微制造与纳米技术3.2激光的产生…………………373.3激光的特性…………………413.3.1单色性…………………413.3.2方向性…………………413.3.3亮度……………………413.3.4相干性…………………423.3.5空间分布………………423.3.6时间脉冲波形…………423.4激光应用……………………433.5微加工中的激光技术………443.5.1背景……………………453.5.2激光的吸收和反射……453.5.3应用技术基础…………463.6参考文献……………………50第4章激光干涉仪几何误差软补偿……………………524.1概述…………………………524.2几何误差校正概述…………534.2.1误差测量系统…………544.2.2精度评价………………554.3几何误差补偿方法…………564.3.1几何误差查找表………564.3.2几何误差参数模型……574.4实验结果……………………604.4.1误差近似………………604.4.2线性误差………………604.4.3直线度误差……………634.4.4角度误差………………634.4.5垂直度误差……………644.4.6评价……………………654.5小结…………………………674.6参考文献……………………67第5章体微加工中的蚀刻工艺表征………………………695.1概述…………………………695.2体微加工的发展历史………695.3湿法体微加工（WBM）……705.4晶体学及其影响……………715.5硅作为基板与结构材料……725.5.1硅作为基板……………725.5.2硅作为结构材料………735.5.3应力与应变……………735.5.4硅的热力学性质………765.6湿法蚀刻流程………………765.6.1各向同性蚀刻剂………765.6.2反应现象………………775.6.3各向同性蚀刻曲线……775.6.4掩膜……………………795.6.5依赖型掺杂蚀刻剂……795.7各向异性蚀刻………………805.7.1各向异性蚀刻剂………805.7.2各向异性蚀刻剂掩膜……………………815.8蚀刻控制：停止技术………815.8.1硼扩散蚀刻停止………825.8.2电化学蚀刻自停止技术……………………825.8.3薄膜与绝缘硅蚀刻停止……………………835.9体微加工中蚀刻存在的问题…………………………835.9.1基板面消耗……………845.9.2角补偿…………………845.10小结………………………855.11参考文献…………………86第6章表面微加工和晶片粘合工艺的特点………………886.1概述…………………………886.2光刻工艺……………………896.3表面微加工…………………91目录㊣6.4表面微加工工艺特点………926.4.1隔离层…………………936.4.2牺牲层…………………936.4.3结构材料………………946.4.4选择性蚀刻……………946.5特性…………………………966.5.1附着力…………………966.5.2应力……………………966.5.3黏滞……………………996.6晶片键合……………………996.6.1阳极键合……………1006.6.2融化键合……………1016.7小结………………………1026.8参考文献…………………103第7章文件安全领域微加工：光变图像………………1087.1引言………………………1087.2概述………………………1087.3光变图像箔微结构………1097.3.1防伪全息图…………1097.3.2KinegramTm技术……1107.3.3CatpixTm电子束光刻微结构…………………1137.3.4结构稳定性…………1147.3.5PixelgramTM调色概念…………………1147.3.6基于ExelgramTM轨道的光变图像微结构…1167.3.7隐蔽图片显微图像安全特征……………1197.3.8KinegramTM和ExelgramTM的比较………………1197.3.9VectogramTM图像多路复用技术……………1217.3.10间隙刻槽单元调制…………………1237.4通用的光变图像微结构…1247.4.1光变油墨技术………1247.4.2衍射数据箔…………1267.4.3生物识别光变图像技术…………………1287.5光学图像单元编码表面纳米制造………………………1307.5.1微镜光变图像………1317.5.2微镜光变图像的起源…………………1327.5.3微镜光变图像光学效应总结…………………1367.6小结………………………1387.7参考文献…………………138第8章纳米修整技术…………1428.1概述………………………1428.2传统加工工艺……………1438.2.1研磨…………………1438.2.2抛光…………………1448.2.3珩磨…………………1448.3高级修整工艺（AFPs）……1448.3.1磨料流加工（AFM）………………1458.3.2磁力研磨（MAF）……1478.3.3磁流变加工（MRF）………………1498.3.4磁流变磨料流修整（MRAFF）……………1528.3.5磁悬浮抛光（MFP）………………1558.3.6弹性喷射加工（EEM）………………1568.3.7离子束加工（IBM）………………1588.3.8化学机械抛光（CMP）………………159㊣微制造与纳米技术8.4参考文献…………………160第9章微纳米技术在空间微推进系统中的应用…………1639.1概述………………………1639.2微型化航天器微推动的子系统和设备………………1669.3推进系统…………………1719.3.1固体推进剂…………1719.3.2冷气体………………1729.3.3胶体推进器…………1729.3.4热气体………………1729.3.5单组元和双组元推进系统…………………1729.3.6再生加压循环………1729.3.7姿态调整与控制系统…………………1729.4冷气体微推进器的实现…1739.4.1气体和流体动力学…1739.4.2原型设计……………1749.5小结………………………1799.6参考文献…………………179第10章碳纳米管的制造和应用：纳米技术基础…………18110.1概述………………………18110.2纳米技术和碳纳米管的前景……………………18110.3碳纳米管的研究进展……18210.4碳纳米管的结构和属性……………………18410.5碳纳米管的制备…………18610.5.1化学气相沉积………18710.5.2电弧放电……………18810.5.3激光烧蚀……………18810.5.4生长机理……………18910.5.5碳纳米管提纯………19010.6碳纳米管的应用…………19110.6.1场效应管中碳纳米管的电子输运…………19110.6.2在计算机中的应用…………………19210.6.3基于碳纳米管的纳米器件在生物医学中的应用…………………19410.6.4X射线仪……………19410.6.5基于碳纳米管的纳米机械执行器和人工肌肉…………………19510.6.6燃料电池……………19610.6.7膜电极组……………19710.6.8基于CNTs的双极板机械和电气强化……19810.6.9在碳纳米管中储氢…………………19910.7参考文献…………………200第11章碳基纳米结构…………20611.1概述………………………20611.2富勒烯的历史……………20611.3碳纳米管的结构（CNTs）…………………20711.3.1Y形…………………20811.3.2双螺旋形……………20811.3.3竹节形………………20911.3.4分层结构……………20911.3.5环形多壁碳纳米管………………20911.3.6圆锥端帽形多壁碳纳米管…………………21011.4富勒烯的结构……………21111.4.1C48富勒烯结构……21111.4.2环形富勒烯…………21111.4.3C60、C59、C58、C57的结构………………212目录ⅩⅦ11.4.4较小的富勒烯C50…21311.5碳纳米球（CNBs）的结构………………………21411.6碳纳米纤维（CNFs）的结构………………………21411.6.1六边形碳纳米纤维…………………21511.6.2锥形碳纳米纤维……21511.6.3螺旋形碳纳米纤维…………………21511.7多孔碳……………………21611.8碳纳米结构的性质………21611.8.1分子性质……………21611.8.2电子性质……………21711.8.3光学性质……………21711.8.4力学性能……………21711.8.5周期性………………21811.9合成………………………21811.9.1碳纳米管……………21811.9.2富勒烯………………21911.9.3碳纳米球……………21911.9.4碳纳米纤维…………22011.10碳纳米结构的应用前景……………………22111.10.1能量存储…………22111.10.2储氢………………22111.10.3嵌锂………………22211.10.4电化学超级电容…22311.10.5碳纳米管的分子电子学………………22311.11复合材料………………22511.12小结……………………22611.13参考文献………………226第12章分子逻辑门……………23112.1概述………………………23112.2逻辑门……………………23112.3荧光分子逻辑电路………23312.4组合逻辑电路……………23912.5可重构分子逻辑…………24012.6基于分子逻辑门的吸收……………………24112.7分子逻辑门：导电………24612.8小结………………………24812.9参考文献…………………248第13章用于生物传感器的纳米力学悬臂装置…………25113.1概述………………………25113.2原理………………………25213.3静态变形法………………25213.4共振模式法………………25313.5热检测法…………………25513.6微型品制造………………25613.6.1硅基悬臂……………25613.6.2压阻式集成悬臂……25713.6.3压电式集成悬臂……25713.7测量和输出技术…………25913.7.1光学法………………25913.7.2干涉测量法…………25913.7.3压阻法………………25913.7.4电容法………………26013.7.5压电法………………26013.8生物传感…………………26113.8.1DNA探测…………26113.8.2蛋白质检测…………26213.8.3细胞检测……………26413.9小结………………………26613.10参考文献………………266第14章微型能源和化学系统（MECS）和多尺度制造…………………27014.1概述………………………270ⅩⅧ微制造与纳米技术14.2微能源和化学系统（MECS）…………………27314.2.1MECS器件的物质与热量传递……………27314.2.2MECS技术的应用…………………27414.3MECS制造………………27514.3.1困难与挑战…………27514.3.2特征尺寸……………27614.3.3微层压技术…………27614.4微层压技术的尺寸控制………………………27914.4.1图形化对微通道阵列性能的影响…………27914.4.2理论…………………28014.4.3微通道加工…………28114.4.4试验结果……………28214.5微通道阵列中的翘曲源……………………28414.5.1分析…………………28514.5.2试验结果……………28714.6配准与粘接对微通道阵列性能的影响………………28814.7微通道阵列的几何约束………………………28914.8微层压技术的经济价值………………………29114.9参考文献…………………293第15章雕塑薄膜………………29715.1概述………………………29715.2雕塑薄膜的生长…………29815.2.1实验和现象…………29815.2.2计算机模拟…………30115.3光学特性…………………30215.3.1理论…………………30215.3.2特征行为……………30715.4应用………………………30915.4.1光学…………………31015.4.2化学…………………31115.4.3电学…………………31115.4.4生物学………………31115.5小结………………………31115.6参考文献…………………312第16章电子束蚀刻技术与纳米装配———精密化学工程……………………31916.1概述………………………31916.2电子束辐射………………32016.2.1聚合物材料…………32016.2.2分子材料……………32016.3自组装单层膜……………32216.4结语和展望………………32616.5参考文献…………………326第17章倏逝近场纳米光刻技术……………………33217.1概述………………………33217.2发展历史…………………33317.3ENFOL技术原理………33417.4掩膜的制作和要求………33517.5图案形成…………………33617.5.1曝光条件……………33617.5.2光刻胶要求…………33617.5.3克服衍射极限………33717.6图案转移…………………33917.6.1减法图案转移………33917.6.2加法图案转移………339目录ⅩⅨ17.7模拟………………………34117.7.1模拟方法和模型……34217.7.2强度分布……………34217.7.3场深度（DOF）……34317.7.4边界强化带来的曝光差异…………………34517.8表面等离子体纳米光刻………………………34617.8.1倏逝干涉光刻技术（EIL）………………34617.8.2平面透镜光刻技术（PLL）………………34717.8.3表面等离子体增强接触式光刻（SPECL）……………35017.9小结………………………35217.10参考文献………………352第18章纳米技术在燃料电池上的应用…………………35618.1现状与需求………………35618.2多相催化中的纳米粒子………………………35718.3碳载体铂催化剂的氧化电解还原反应……………36018.4碳纳米管载体催化剂……36118.5小结………………………36618.6参考文献…………………366
