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本文先介绍了AgilentB1500A半导体器件分析仪的主要模块以及技术要点，然后介绍了该仪器的使用的软件特性。带EasyEXPERT软件的AgilentB1500A半导体器件分析仪AgilentDesktopEasyEXPERT软件让每一位用户都成为参数测试专家完整的参数分析环境...测量,添加和提供230多种应用测试重复功能基于任务的创新内置半自动晶圆探针台参数测试方法驱动程序基于MicrosoftWindows的EasyEXPERT软件对B2200A,B2201A和……

这篇应用指南介绍如何用B1500A容易地配置精确的IV和CV测量系统。用AgilentB1500AMFCMU和SCUU进行IV和CV测量应用指南B1500-3AgilentB1500A半导体器件分析仪引言参数表征既需要进行电流―电压(IV)测量，也需要进行电容―电压(CV)测量。目前开发的制程技术通常需要通过单通道对晶圆上器件进行精确的IV和CV测量。AgilentB1500A半导体器件分析仪在单台主机中使用新的单插槽多频率电容测量单元(MFCMU)和两块SMU单元，从而能够支持单通道的IV和CV测量。在一个探针台上完成IV和CV这两种测量并不容易。基于SMU的IV测量采用三轴连接头，而基于CMU的测量则使用BNC连接头。这两种测量间的切换是繁杂和费时的，并且很容易造成错误测量。例如，当通过手动切换测量电缆时，需要同时保持在晶圆上的探针不变。在这种情况下，当切B1500A的SMUCMU复合单元这篇应用指南介绍如何用B1500A换电缆时，摩擦产生的电荷就有可能(SCUU)解决了这些测量问题。SCUU可容易地配置精确的IV和CV测量系统。损坏器件。除电缆连接问题外，为得实现IV和CV测量间精确和轻松的切到精确的测量结果，还必须正确设置换，并且节省了购置复杂的外部开关与电容测量相关的误差补偿参数。矩阵仪器的开支。用……