这篇应用指南介绍如何用B1500A容易地配置精确的IV 和CV测量系统。 用 Agilent B1500A MFCMU 和 SCUU 进行 IV 和 CV 测量 应用指南 B1500-3 Agilent B1500A 半导体器件分析仪 引言 参数表征既需要进行电流 ― 电 压 (IV) 测量，也需要进行电容 ― 电 压 (CV) 测量。目前开发的制程技术通 常需要通过单通道对晶圆上器件进行 精确的 IV 和 CV 测量。Agilent B1500A 半导体器件分析仪在单台主机中使用 新的单插槽多频率电容测量单元 (MFCMU) 和两块 SMU 单元，从而能够 支持单通道的 IV 和 CV 测量。 在一个探针台上完成 IV 和 CV 这 两种测量并不容易。基于 SMU 的 IV 测 量采用三轴连接头，而基于 CMU 的测 量则使用 BNC 连接头。这两种测量间 的切换是繁杂和费时的，并且很容易 造成错误测量。例如，当通过手动切 换测量电缆时，需要同时保持在晶圆 上的探针不变。在这种情况下，当切 B1500A 的 SMU CMU 复合单元 这篇应用指南介绍如何用B1500A 换电缆时，摩擦产生的电荷就有可能 (SCUU) 解决了这些测量问题。SCUU 可 容易地配置精确的 IV 和 CV 测量系统。 损坏器件。除电缆连接问题外，为得 实现 IV 和 CV 测量间精确和轻松的切 到精确的测量结果，还必须正确设置 换，并且节省了购置复杂的外部开关 与电容测量相关的误差补偿参数。 矩阵仪器的开支。 用 ……