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SiliconLabsCMEMS技术[pic]CMEMS®技术采用批量CMOS制造工艺生产基于MEMS的频率控制器件在过去的五年里，微机电系统（MEMS）解决方案已经稳步进入由石英晶体解决方案垄断上百年的频率控制和定时产品市场。MEMS技术最初源于对更小外形尺寸的追求，目前已呈现出显著的其他优势，包括交付时间、供应稳定性、产品可靠性、器件尺寸和性价比等，这些优势使基于MEMS的振荡器占有部分基于石英的频率控制市场。依赖传统技术，基于石英的频率控制设计有很多限制，例如需要更高专业化和复杂生产流程，基于陶瓷的特殊包装（如图1所示），需要密闭可靠的腔体以及片外匹配电容，对环境因素敏感，尤其是热力、冲击和振动，可能导致现场故障。[pic]图1.基于石英的陶瓷封装振荡器结构框图以上限制现在已经通过MEMS技术大大缓解，从而可以获得更小器件尺寸，并采用标准半导体制造技术。然而，频率控制和时钟产品的集成依旧采用与基于石英的产品和其他MEMS产品相同的方法：在多芯片模组中装配MEMS协调器芯片和分立IC（如图2所示）。虽然这种方法能够使用比基于石英的振荡器更加标准的包装技术，但是仍然依赖主流批量CMOS工厂之外的专业MEMS工厂。此外，双芯片MEMS解决方案仅代表CMOS-MEMS一体化中的中间步骤，他们对MEMS谐振器特性更加敏感，因此从系统性能和成本的角度来看不是最佳选择。……