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SUPREM3……

工艺模拟……

第三章离子注入工艺下……

第三章离子注入工艺上……

离子注入xcl第四章离子注入工艺§1离子注入工艺设备及原理一．离子注入工艺设备结构2005-3-3012005-3-302图4.1离子注入机结构图4.2离子注入机原理图2005-3-3032005-3-304(一)射程的概念(4.3)二、离子注入工艺原理2005-3-306此处是标题1xcl(二)核碰撞和电子碰撞(4.4)核碰撞……