离子注入xcl 第四章 离子注入工艺 §1 离子注入工艺设备及原理 一．离子注入工艺设备结构 2005-3-30 1 2005-3-30 2 图4.1 离子注入机结构 图 4.2离子注入机原理图 2005-3-30 3 2005-3-30 4 (一)射程的概念(4.3) 二、离子注入工艺原理 2005-3-30 6 此处是标题 1 xcl (二) 核碰撞和电子碰撞(4.4) 核碰撞 ……