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第二章扩散工艺……

扩散工艺原理第三章扩散工艺三、杂质扩散§1.扩散原理1.恒定表面源扩散扩散过程中，硅片表面杂质浓度始§2.典型工艺终不变这种类型的扩散称为恒定表面源扩散。其扩散后杂质浓度分布§3.扩散方法为余误差函数分布。重写扩散方程（2－3）：§4.工艺控制和质量监测自学CAI课件N=D2N(x,t)2005-3-111……