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MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用第32卷第4期2002年8月文章编号:100423365(2002)0420241204微电子学MicroelectronicsVol132,№4Aug12002MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用卿健,石艳玲,赖宗声,朱自强(华东师范大学电子科学技术系,上海200062)摘要:从传统移相器的构造和原理出发,进一步分析了MEMS移相器的结构、特性。结果表明,MEMS移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、损耗小、成本低、频带宽、易于集成等突出优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,MEMS移相器介质损耗大幅度降低,将能与信号处理电路一同集成于硅衬底上,便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化。关键词:MEMS;移相器;PIN二极管;通信系统中图分类号:TN492;TN958192文献标识码:AMEMSPhaseShifterandItsApplicationinMini-CommunicationSystemsQINGJian,SHIYan2ling,LAIZong2sheng,ZHUZi2qiang(Dept1ElectronicsScienceandTechnology,EastChinaNormalUniversity,Shanghai200062,P1R1China)Abstract:ThestructureofMEMSphaseshifteranditscharacteristic……