MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用第 32 卷第 4 期 2002 年 8 月 文章编号: 100423365 ( 2002) 0420241204
微 电 子 学
M icroelectron ics
V o l132, № 4 A ug 12002
M EM S 移相器及其在微型通信系统中的应用
卿 健, 石艳玲, 赖宗声, 朱自强
( 华东师范大学 电子科学技术系, 上海 200062)
摘 要: 从传统移相器的构造和原理出发, 进一步分析了 M EM S 移相器的结构、 特性。 结果表 明,M EM S 移相器具有传统移相器所无法比拟的体积小、 损耗小、 成本低、 频带宽、 易于集成等突出 优点。随着高阻硅衬底在微波领域应用的扩展,M EM S 移相器介质损耗大幅度降低, 将能与信号处 理电路一同集成于硅衬底上, 便于相控阵雷达等通信系统实现微小型化。 关键词: M EM S; 移相器; P I N 二极管; 通信系统 中图分类号: TN 492; TN 958192 文献标识码: A
M EM S Pha se Sh if ter and Its Appl ica tion in M in i-Comm un ica tion System s
QI N G J ian, SH I Yan 2ling, LA I Zong 2sheng, ZHU Zi2qiang
(D ep t1 E lectron ics S cience and T echnology , E ast C h ina N orm a l U n iversity , S hang ha i 200062, P 1R 1C h ina )
Abstract: T he structu re of M EM S p ha se sh ifter and its cha racteristic……
