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企业介绍 中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称“中微公司”，证券代码“688012”）是一家以中国为基地、面向全球的微观加工高端设备公司，为集成电路和泛半导体行业提供极具竞争力的高端设备和高质量的服务。 中微开发的等离子体刻蚀设备和化学薄膜设备是制造各种微观器件的关键设备，可加工微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在彻底改变人类的生产方式和生活方式。 中微总部位于上海，聚焦亚洲，并为全球的客户提供技术和设备的解决方案。作为制造和创新的中心，中国和亚洲具有得天独厚的优势和高速成长的市场，而这使中微有无限广阔的发展前景。 在中微员工的创新激情、多年的齐心奋斗和合作共赢的精神指引下，中微已经成为一家快速成长的微观加工设备公司，在技术创新、产品优化和市场准入方面取得了重大突破，赢得了众多客户和供应厂商的信任和支持，成为国际半导体微观加工设备产业极具竞争力的一颗新星。 中微公司基于在半导体装备产业多年耕耘积累的专业技术，涉足半导体芯片前端制造、先进封装、LED 生产、MEMS制造以及其他微观制程的高端设备领域，瞄准世界科技前沿，坚持自主创新。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国际一线客户从65 纳米到 5纳米工艺的众多刻蚀应用，中微公司开发的用于 LED 和功率器件外延片生产的MOCVD 设备已在客户生产线上投入量产，2018 年公司在全球氮化镓基 LED MOCVD 设备市场占据领先地位。 发展历程 2004年8月 在张江高科技园区启动运营 2005年9月 一期新厂房6,500平方米落成启用 2007年6月 首台CCP刻蚀设备产品研制成功，并运往国内客户 2008年8月 入选“02专项”首批项目承担单位 2010年6月 首台TSV/MEMS/Dicing刻蚀设备产品研制成功 2011年11月 中微45纳米介质刻蚀设备研制成功 2012年10月 二期新厂房22,000平方米落成启用 2012年11月 首台MOCVD设备产品研制成功 2013年12月 中微22纳米介质刻蚀设备研制成功 2014年11月 中微成为第一家“大基金”投资的企业 2015年2月 中微等离子体刻蚀机的成功研发和量产 2015年7月 中微反应台交付量突破400台 2015年12月 中微、国家集成电路产业投资基金和苏州聚源东方完成对拓荆投资 2016年1月 中微14纳米介质刻蚀设备研制成功 2016年2月 首台VOC设备产品研制成功 2016年6月 首台第二代MOCVD设备产品研制成功 2016年8月 中微7纳米介质刻蚀设备研制成功 2016年11月 首台单反应台ICP刻蚀设备产品研制成功 2017年4月 首台双反应台ICP刻蚀设备产品研制成功 2017年7月 中微刻蚀设备进入国际先进7纳米生产线 2017年10月 中微第100台MOCVD Prismo A7®反应腔付运里程碑 2018年5月 中微在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中荣登上榜，在全球晶圆制造设备供应商中排名第三，是唯一一家上榜的中国本土半导体设备公司 2018年12月 完成股份公司整体变更 2019年5月 中微在美国VLSIresearch举办的全球客户满意度调查中连续排名前列，综合评分全球第三，是五个被评为五星级企业之一 2019年7月 成为科创板首批上市公司之一 2020年4月 中微半导体设备公司自主研发的5nm刻蚀机成功 旗下子公司 南昌中微半导体设备有限公司 中微惠创科技（上海）有限公司 中微半导体设备（厦门）有限公司 中微汇链科技（上海）有限公司 上海创徒光电技术服务有限公司 上海芯元基半导体科技有限公司 沈阳拓荆科技有限公司 Advanced Micro-Fabrication Equipment International Pte. Ltd. Advanced Micro-Fabrication Equipment Korea Ltd. AMEC North America, Inc. AMEC Japan Co., Inc. 主营产品 刻蚀设备 Primo D-RIE® 为65到16纳米芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 Primo AD-RIE® 为40到7纳米芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 Primo SSC AD-RIE™ 为26到10纳米芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 Primo iDEA® 为芯片刻蚀和光刻胶移除提供创新的整合解决方案 Primo HD-RIE™ 为NAND和DRAM芯片制造提供创新的刻蚀解决方案 Primo TSV® 高性能、高产能的深硅刻蚀产品 Primo nanova® 为 1X纳米及以下逻辑和存储器件刻蚀应用提供创新的解决方案 MOCVD设备 Prismo D-BLUE® 首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备 Prismo A7® 用于LED外延片大规模量产的MOCVD设备 Prismo HiT3™ 用于深紫外LED外延片量产的MOCVD设备 环保设备 VOC净化设备 工业用大型VOC净化设备 G M T Y 检测语言世界语中文简体中文繁体丹麦语乌克兰语乌兹别克语乌尔都语亚美尼亚语伊博语俄语保加利亚语信德语修纳语僧伽罗语克罗地亚语冰岛语加利西亚语加泰罗尼亚语匈牙利语南非祖鲁语卡纳达语卢森堡语印地语印尼巽他语印尼爪哇语印尼语古吉拉特语吉尔吉斯语哈萨克语土耳其语塔吉克语塞尔维亚语塞索托语夏威夷语威尔士语孟加拉语宿务语尼泊尔语巴斯克语布尔语(南非荷兰语)希伯来语希腊语库尔德语弗里西语德语意大利语意第绪语拉丁语拉脱维亚语挪威语捷克语斯洛伐克语斯洛文尼亚语斯瓦希里语旁遮普语日语普什图语格鲁吉亚语毛利语法语波兰语波斯尼亚语波斯语泰卢固语泰米尔语泰语海地克里奥尔语爱尔兰语爱沙尼亚语瑞典语白俄罗斯语科萨科西嘉语立陶宛语索马里语约鲁巴语缅甸语罗马尼亚语老挝语芬兰语苏格兰盖尔语苗语英语荷兰语菲律宾语萨摩亚语葡萄牙语蒙古语西班牙语豪萨语越南语阿塞拜疆语阿姆哈拉语阿尔巴尼亚语阿拉伯语韩语马其顿语马尔加什语马拉地语马拉雅拉姆语马来语马耳他语高棉语齐切瓦语 世界语中文简体中文繁体丹麦语乌克兰语乌兹别克语乌尔都语亚美尼亚语伊博语俄语保加利亚语信德语修纳语僧伽罗语克罗地亚语冰岛语加利西亚语加泰罗尼亚语匈牙利语南非祖鲁语卡纳达语卢森堡语印地语印尼巽他语印尼爪哇语印尼语古吉拉特语吉尔吉斯语哈萨克语土耳其语塔吉克语塞尔维亚语塞索托语夏威夷语威尔士语孟加拉语宿务语尼泊尔语巴斯克语布尔语(南非荷兰语)希伯来语希腊语库尔德语弗里西语德语意大利语意第绪语拉丁语拉脱维亚语挪威语捷克语斯洛伐克语斯洛文尼亚语斯瓦希里语旁遮普语日语普什图语格鲁吉亚语毛利语法语波兰语波斯尼亚语波斯语泰卢固语泰米尔语泰语海地克里奥尔语爱尔兰语爱沙尼亚语瑞典语白俄罗斯语科萨科西嘉语立陶宛语索马里语约鲁巴语缅甸语罗马尼亚语老挝语芬兰语苏格兰盖尔语苗语英语荷兰语菲律宾语萨摩亚语葡萄牙语蒙古语西班牙语豪萨语越南语阿塞拜疆语阿姆哈拉语阿尔巴尼亚语阿拉伯语韩语马其顿语马尔加什语马拉地语马拉雅拉姆语马来语马耳他语高棉语齐切瓦语 文本转语音功能仅限200个字符 选项 : 历史 : 反馈 : Donate 关闭