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多晶硅片生产工艺介绍.ppt

LTPS低温多晶硅技术浅析LTPS低温多晶硅技术浅析一、LTPS简介低温多晶硅（LowTemperaturePoly-silicon；LTPS，以下以LTPS代称）是平板显示器领域中的又一新技术。继非晶硅（Amorphous-Silicon，以下以a-Si代称）之后的下一代技术。Polysilicon(多晶硅)是一种约为0.1至数个um大小、以硅为基底的材料，由许多硅粒子组合而成。在半导体制造产业中，多晶硅通常经由LPCVD(LowPressureChemicalVaporDeposition)处理后，再以高于900C的退火程序，此方法即为SPC(SolidPhaseCrystallization)。然而此种方法却不适合用于平面显示器制造产业，因为玻璃的最高承受……