LTPS低温多晶硅技术浅析LTPS 低温多晶硅技术浅析 一、LTPS 简介 低温多晶硅（Low Temperature Poly-silicon；LTPS，以下以 LTPS 代称）是平板 显示器领域中的又一新技术。继非晶硅（Amorphous-Silicon，以下以 a-Si 代称）之 后的下一代技术。 Polysilicon (多晶硅) 是一种约为 0.1 至数个 um 大小、以硅为基底的材料，由许多硅粒 子组合而成。在半导体制造产业中，多晶硅通常经由 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) 处 理 后 ， 再 以 高 于 900C 的 退 火 程 序 ， 此 方 法 即 为 SPC (Solid Phase Crystallization) 。然而此种方法却不适合用于平面显示器制造产业，因为玻璃的最高承受……