原创 MEMS应用渐热

2007-8-22 09:17 4316 8 8 分类: 汽车电子

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 原文:MEMS技术:现状和未来  来源:电子产品世界  日期:2007-06-30


 


在美国Globalpress Summit 2007期间有多组讨论会,MEMS技术就是非常引人注目的一个。


就定义而言,MEMS(微机电系统)是感知、计算和执行的融合。它也是一种制造技术。它本身并不是某种产品。它为什么重要?从根本上说,MEMS把电子和机械特性结合了起来。它可以同时执行物理、化学、生物等方面的功能,因为它能同时发生化学反应和电作用。它实质上是终极的片上系统,是科学和技术的终极融合,而且生物也可以与之兼容。


 


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MEMS汇集了化学、通信、医疗、影音、光学、电子、机械诸多科学与技术门类

 

MEMS市场的角度来看,2005MEMS原材料的市场规模是3.85亿美元,这些是与MEMS产品和半导体产品直接相关的。到2010年会翻一番,CAGR(年复合增长率)可以达到15%2005年器件的市场规模是53亿美元,在2010年可以达到100亿美元。更重要的是,希望大家看看MEMS系统,它将是采用了MEMS产品的最终电子产品,到2010年,其规模将达到950亿美元。


如今,MEMS的应用对象都是最常见的东西。TIDLP(Digital Light Processing,数字光学处理)投影机是一种MOEMS(微光机电系统),还有喷墨打印头,这是MEMS的两个最大的应用领域。但是,当前还有相当一些应用,其历史甚至比这两种产品更长,其中大多数是在汽车方面,例如气囊传感器及相应的执行器,燃油系统中所采用的气压传感器和氧气传感器。在车身上也有MEMS,如GPS、麦克风,这些领域是未来几年中将取得巨大增长的领域。在声学方面,有公司在经营相应的业务,包括用于手机的麦克风,手机中的防冲击装置中的动作检测和执行等功能。



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MEMS的组成


最后一种是生物医学传感器,可以植入人体。这也将是未来会获得巨大增长的领域。你可以在这里看到一些昔日的设想变成了现实,有DNA分析仪和光开关,他们是5年前所实现的,现在不那么引起人们兴趣了。


 




什么是MEMS


MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的缩写,即微电子机械系统。微电子机械系统(MEMS)技术是建立在微米/纳米技术(micro/nanotechnology)基础上的21世纪前沿技术,是指对微米/纳米材料进行设计、加工、制造、测量和控制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。它用微电子技术和微加工技术(包括硅体微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片键合等技术)相结合的制造工艺,制造出各种性能优异、价格低廉、微型化的传感器、执行器、驱动器和微系统。

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