原创
EMMI微光显微镜
2009-11-25 14:32
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分类:
测试测量
* EMMI微光显微镜是一种效率极高的失效分错析工具, 提供高灵敏度非破坏性的故障定位方式,可侦测和定位非常微弱的发光(可见光及近红外光), 由此捕捉各种元件缺陷或异常所产生的漏电流可见光。
* EMMI侦测对应故障种类涵盖 ESD, Latch up, I/O Leakage, junction defect, hot electrons , oxide current leakage等所造成的异常。
* EMMI对漏电流的侦测可达微安级别。而LC(液晶热点侦测 Liquid Crystal )对漏电流的捕捉仅达毫安级别。
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