原创 氦气检漏仪的工作原理

2011-11-9 11:55 931 4 4 分类: MCU/ 嵌入式

氦气检漏仪的工作原理
主要有离子源、分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计组成.       
离子源是气体电离,形成一束具有特定能量的离子.       
分析器是一个均匀的磁场空间,不同离子的质荷比不同;
在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离,再设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙;打在收集器上.       
收集放大器收集氦离子流并出入到电流放大器.通过测量离子流就可知漏率.       
冷阴极电离真空计指示质谱室的压力保护装置. 气体检测仪| 气体分析仪| 一氧化碳检测器| 可燃气体检测仪| 泄露气体检测仪| 毒性气体| 氧气检测| VOC检测仪| 烟气分析仪|

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