原创 低功率纳米技术及其它敏感器件的交流与直流测量方法的

直流反转方法[1]yle="FONT-FAMILY: 宋体">则使用一个可反转极性的直流源，测试对象的响应则通过一个纳伏表来测量。

过去，直流反转监测法在大部分测量仪器上都需要手动操作，这将反转速度限制在低于1Hz。如今的仪器则使这种技术自动化并提高了反转速度。反转速度设定了主导噪声的频率。更高的反转速度去除了低频噪声，并使热漂移[2]有所改善，这是因为这些噪声源在高频下具有更低的功率。

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图3  在直流反转测量（Delta法）中测试信号和热电误差电压

简单说，Delta法[3]包括反转电源极性以及使用三次测量电压值的移动平均来计算电阻（图3）。三次测量为：

VM1 = VDUT + VEMF

VM2 = –VDUT + VEMF + δV

VM3 = VDUT + VEMF + 2δV,

其中VM1, VM2 和 VM3为电压测量

VDUT：因外加电流而在测试对象上产生的电压降

VEMF：在测定VM1时，恒定热电动势电压偏置

δV：线性变化的热电动势[4]

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