原创 本土半导体设备产业蓄势待发

作者：冯莉 (lifeng@semi.org)

从沈阳、北京、上海到长沙、深圳，中国本土半导体设备公司正在中国的各大城市孕育发展。半导体制造产业向中国转移让产业链上的设备与材料公司看到了更大的市场，而国家对集成电路设备产业的重点支持也为本土设备公司的成长提供了肥沃的土壤。

SEMICON China2007期间，SEMI和《半导体制造》举办了“半导体设备及零部件本土化与本土化采购高层研讨会”，来自沈阳科仪、北方微电子、45所、中微和深圳格兰达的老总与关心设备本土化的科技部和信产部等部门的官员共同探讨了半导体设备本土化的成果、问题和挑战。我们看到北方微电子等本土公司正在赢得 fab厂的订单，中微等公司设备零部件本土化的比例正在提高，Verigy等跨国公司也开始在中国进行设备制造，Advanced Energy等关键零部件厂商已将大部分的生产制造转移到了中国。

信息产业部处长王勃华在半导体设备与零部件本土化与本土化采购高层研讨会上说，中国的半导体设备产业正蓄势待发，未来四五年将迎来大发展。

致力于300mm刻蚀和薄膜淀积设备的中微半导体设备（上海）有限公司是中国领先的半导体设备制造商，该公司全球客户服务及备件业务部长吴万俊（Robert Wu）在归纳其在中国的采购经验时提出：“对设备业的需求可能会有上下起伏，而备件业的需求永远都呈递增趋势。”谈起本土化的成果，中微在一年内，材料的本土化采购提升了10％，供应商数量提高到46％。但本土零部件厂商在管理理念、产品质量与稳定性方面仍存在一定的差距。



科技部副司长戴国强说，集成电路设备产业已经成为国家重点支持的16个重大专项之一，将成为国家发展的重点。

惠瑞捷半导体科技（上海）中国制造部总监Nancy Nardi-Gardner在谈到惠瑞捷的制造运营模式时，和大家分享了其在兼顾时间和成本条件下独创的供应链模式。惠瑞捷的核心制造由位于中国的伟创立来代工，从而节省了材料成本和组装成本。不仅如此，惠瑞捷还将其采购供应链移至亚洲，缩减了物流成本。

在电源供应子系统领域占据半壁江山的Advanced Energy（优仪半导体国际）销售副总裁Bruno W. Doetsch为大家解析Advanced Energy为什么向亚洲和中国转移。值得一提的是，降低成本并非驱使Advanced Energy来到中国的真正驱动力，而是中国市场的高品质、高产量，以及高度的灵活性吸引Advanced Energy将其90％的产品生产转移到中国。

中国科学院微电子研究所副所长叶甜春和大家分享了中国集成电路装备制造业发展战略思考。叶甜春从全球IC制造业面临的投资和风险问题出发，引出低成本解决方案是全球IC制造业的出路，而IC制造业向中国的转移必然带动装备业的转移，这将是中国IC装备业的机遇。当然机遇与挑战总是并行，中国目前产业化和市场意识还很弱，IC装备业本身是个国际性竞争行业，而国内目前还缺乏专业人才及符合行业特点的运作模式。此外，叶甜春还强调应尽快建立本土关键零、配部件的供应链。

研讨会的圆桌论坛由沈阳科仪PECVD总经理姜谦、北方微电子副总经理赵晋荣、中微吴万俊、CETC45所书记兼副所长田陆屏、格兰达总裁林宜龙出席。圆桌论坛上，姜谦强调客户和供应商双赢甚至多赢模式的建立至关重要。赵晋荣谈到公司的零部件有80％是国内制造，但80％的成本却在国外。吴万俊点出拥有IP就是拥有本土化。

研讨会的POSTER SESSION（海报时段）展示了20家本土和国际零部件公司的产品，其中包含机械加工、石英材料、机械手、真空部件、离子注入部件等，提供给与会的国际和本土备件供应商、半导体芯片制造厂、及设备备件供应商一个探讨与交流的机会。