电子行业用超纯水设备
[摘要]:电子行业中像电解电容、电子管、玻璃壳、硅晶片的生产中用到16-18MΩ.CM超纯水,除了对水的纯度要求高以外对电颗粒杂质以及TOC有更高要求,提供三种工艺 流程,并以3T/H设备描述了反渗透(RO)+EDI(电去离子)方法制取超纯水的设备。
[关键词]:电子行业 电解电容 硅片清洗 阴极显像管 超纯水 反渗透 edi 混床 典型工艺流程 工程实例
一、电子行业高纯水除盐装置应用范围概述:
1、电解电容器生产铝箔及工作件的清洗电子管生产
2、电子管阴极涂敷碳酸盐配液显像管和阴极射线管生产
3、配料用纯水黑白显像管荧光屏生产 玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗用纯水液晶显示器的生产屏面需用纯水清洗和用纯水配液晶体管生产中主要用于清洗硅片等。
二、电子行业超纯水工艺流程
◆典型工艺流程
预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)
◆传统工艺流程
预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.22或0.5um精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)
◆其它工艺流程
1、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→第二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水终端(≥15MΩ.CM)http://www.yangtu8.com/product/product9.html
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