国际上第一块硅数字集成电路诞生于1958年,20世纪60年代获得普及和发展,70年代进人了大规模集成和微处理器时代。80年代和90年代随着半导体工艺日臻成熟和计算机辅助设计技术的突破,硅数字集成电路,特别是专用集成电路得到了飞速发展。希望在单芯片上集成数字电路和模拟电路以致更多功能的趋势,一直是集成电路发展的重要驱动力。进人21世纪以来,这一发展趋势已变为现实,整机系统和集成电路设计进一步融为一体,片上系统(System on Chip,Soc)芯片的时代已经来临。目前,硅数字集成电路中,一块芯片上集成几亿个到数十亿个元件,特征尺寸45nm~90nm的64Gb的动态随机存取存储器业已实现,64位多核微处理器已广泛应用,各种专用集成电路到了千万门以上。
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