用极光束对晶片上应加工的微小区域同步加热(控温),可加深离子区的离子源分布.也可在晶片上打孔,并
因此可反向蒸镀离子源(用引线做可变电极).
用极光束在光学材料中的传导,及光敏管等,可做极高频存储器,控制器.
用不同频率极光束,可做多路光控开关.
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用极光束对晶片上应加工的微小区域同步加热(控温),可加深离子区的离子源分布.也可在晶片上打孔,并
因此可反向蒸镀离子源(用引线做可变电极).
用极光束在光学材料中的传导,及光敏管等,可做极高频存储器,控制器.
用不同频率极光束,可做多路光控开关.
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