标签: 质量监测

扩散工艺概述xcl第三章扩散工艺§1.扩散原理一.扩散流方程图3.1扩散流模型§1.扩散原理§2.典型工艺§3.扩散方法§4.工艺控制和质量监测2005-3-1112005-3-112以下式表示杂质原子流密度以上2－1，2－3分别为Fick’Fick’s扩散N(x,t)第一、第二定律。J=D（2-1）xN=D2N扩散时质量守衡，J随时间变化与随空间变化……