扩散工艺概述xcl 第三章 扩散工艺 §1. 扩散原理 一. 扩散流方程 图3.1 扩散流模型 §1.扩散原理 §2.典型工艺 §3.扩散方法 §4.工艺控制和质量监测 2005-3-11 1 2005-3-11 2 以下式表示杂质原子流密度 以上2－1，2－3分别为Fick’ Fick’s扩散 N(x, t) 第一、第二定律。 J = D （2-1） x N = D 2N 扩散时质量守衡，J随时间变化与随空间变化 ……