标签: 仪器
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探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将DUT定位在显微镜视野的中心。 机械手放置在平台的平面上，并在机械手中插入探针臂和jian端。探头jian端必须适合要执行的测试程序。然后，用户通过调整相应的操纵器将探针jian端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触；现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆，在测试第一个器件后，可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针jian端的过程，直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成，但如果载物台和机械手是电动的，并且显微镜连接到计算机视觉系统，那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量，并减少运行多个测试所需的劳动力。
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Andrew Armutat 产品市场部 吉时利仪器公司 2601 型单通道系统源表 2602 型双通道系统源表 作为SMU的程序存储器和测试序列发生器如何加速测试进程的例子，吉时利仪器公司研究了对一个单通道SMU进行编程，内部执行一个典型源－测量序列的情形。然后将该测试序列与通过PC的GPIB总线控制的同样功能的测试进行比较。 测试序列由对 二极管 的三个简单测试组成：Vf，Vbr和Ir。首先，用Visual Basic写好PC 测试程序，通过GPIB总线控制SMU，执行这三项测试，并在VB程序中作出测试/失效判断；并将所有的SMU读数都通过GPIB总线返回到PC中。这种提供PC控制的系统完成二极管测试并作出通过/失效判断的时间约为250ms。 接下来，采用SMU内置测试序列的功能进行测试。 PC 程序 将预先配置仪器一次，然后进行源－测量测试过程，作出通过/失效判断，控制元器件分选处理器，所有这些操作都将有SMU在其内部进行，独立于PC和 GPIB总线 。这种方法可在约25ms的时间内完成测试，也就是说，它比前面的方法要快10倍。元器件分选处理器处理一个器件大约180ms，因此，使用SMU测试序列发生器可获得52%的产量增长率。在元器件的生产应用中，这将有效地降低一半的测试成本。 在上面描述的单通道系统中，使用测试序列发生器是一种直接有效的解决方法。如果对两个或更多通道的系统，配置测试序列发生器和管理多个触发器将变得极其复杂。但是，带有测试脚本处理器和高速控制总线的新型SMU可解决此问题，具有方便快捷地调整系统容量、具有可伸缩性和简单的编程特性。这些特性具有共享所有SMU的资源运行复杂、高速测试序列的能力。 （见本文其它部分有关吉时利2601型和2602型系统源表的说明） 登录吉时利官方微博（ http://weibo.com/keithley ）与专家进行互动，还可以免费索取WB/263: 免费索取《数据采集、测量与控制手册》哦~（ http://www.keithley.cn/LLM/land/llm/ ） 2601型单通道系统源表http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2601 2602 http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602 854X通信激光二极管配架http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/opto/85428544 PC程序http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/4500mts GPIB总线http://www.keithley.com.cn/products/dcac/specialtysystems/optoelectronics/?mn=SYSTEM25
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Andrew Armutat 产品市场部 吉时利仪器公司 SMU 测试序列的优势 单独的源和测量功能的仪器与SMU的区别在于，SMU通过改变系统程序设计的方法实现系统测试吞吐量显著的增长。使用SMU的测试序列发生器和程序存储器控制测试，不通过PC进行控制，可简化和加速测试程序的执行，这就是SMU的优势。包括： 四象限操作 （可作为激励源或负载，且带有正或负电压或电流） 内建电压和电流扫描能力 宽动态电压和电流范围 快速 瞬时响应 （失调下冲较小） 皮安级灵敏度 6 1/2位精细分辨率。 深度存储器 （一般可存到100个测试序列） 内置快速通过/失效判别比较器。 数字输入/输出接口，连接元器件分选处理机，可用于元器件分级。 上述这些特性都集于一个单独的机箱内，无需测试系统设计人员去集成这些。这些特性使得SMU的测试序列发生器具有非常强大的功能，可允许系统设计人员用一台这样的仪器处理更多的事件。 登录吉时利官方微博（ http://weibo.com/keithley ）与专家进行互动，还可以免费索取WB/263: 免费索取《数据采集、测量与控制手册》哦~（ http://www.keithley.cn/LLM/land/llm/ ） 2602 http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602 四象限操作http://www.keithley.com.cn/events/proddemos/2400demo/2400_DC3a_CN.html 瞬时响应http://www.keithley.com.cn/llm/a/15.html 基础电子实验室http://www.keithley.com.cn/re/cel
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SMU系统的其它重要特性 除SMU具备的典型特性之外，吉时利2601 型和2602型数字源表 仪器还具有一些新的特性，极大地拓展了I-V测试的能力。例如，无缝式的量程变化大大拓宽了这些新的SMU的动态范围。我们知道量程调整可消耗大量的源－测量时间，因此，无缝式量程变化明显提高了覆盖多个量程测试序列执行的速度。 除了 SMU 具备的激励源、数字多用表及偏置源 功能之外，这些新的SMU 还具有脉冲生成和低频任意波形生成能力，可应用于每个数字源表通道。通用的模拟输入/输出接口功能可用于简化复杂的有源和无源元器件的测试应用。 新的SMU采用了TSP-Link技术，使用了嵌入式触发器线路和一条100Mbit的串行总线，并行多路I-V扫描测试时相互之间的触发不稳定得以大大改善，这对于高带宽应用来说是非常重要的。 吉时利TSP使用了并不复杂的、与BASIC语言类似的命令语言。这对于开发功能强大的高速多通道测试系统而言，确实是一个非常简单的编程方式，同时大大缩短了系统开发时间。随同新的数字源表仪器向用户提供的软件包括，测试脚本软件工具 Test Script Builder以及用TSP测试脚本格式 所写的一些示例程序。一些开发实例还表明，通过使用TSP与相关软件工具，与以往的可提供测试序列功能的仪器相比，用户可缩短四分之一至二分之一的软件开发时间。 综上所述，2601型和2602型数字源表采用新的专业化设计，可满足电子制造商对低成本自动化测试系统的需求，实现快速测试多引脚数器件或复合器件。这些新的SMU可用于将新的功能轻松地添加到现有的测试设备中或对现有的系统扩容，降低新测试设备的资本投资。还可以方便快捷地调整系统容量，具有可伸缩性；更简单地进行系统集成以及占用较小的厂房空间等优势。利用这些新的数字源表仪器开发的测试系统，确确实实可以降低保有成本，并同时提高测试系统的灵活性、整体性能以及可靠性。 登录吉时利官方微博（http://weibo.com/keithley）与专家进行互动，还可以免费索取WB/263: 免费索取《数据采集、测量与控制手册》哦~（http://www.keithley.cn/LLM/land/llm/）
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Andrew Armutat 产品市场部 吉时利仪器公司 2602 型双通道系统源表 缩短开发时间。 测试工程师的时间是一种宝贵的资源，一般每年的成本高达100,000美元。在复杂的测试系统中，软件开发向来就是系统总成本的主要部分之一。这在专用的机架式系统中更是如此。基于 TSP 的软件结构为开放式API仪器中的测试序列提供了更为简单的编程接口，该软件结构使得通过多SMU通道创建测试序列变得更为容易，它们就像是单个仪器实体的组成部分一样。 对于一些专业化应用，如在 半导体晶圆 上的测试，带有预写入测试例程的参数测试系统当然有其优点。但另一方面，基于TSP的SMU系统优点在于高度的灵活性和节约成本。可将多个SMU可无缝集成到一个可升级的“无需机架”的系统中，组成插卡式的高产量、多通道的系统。此外，对不断发展的测试要求这种系统只需最低限度地调整SMU硬件即可。软件方面用户通过对一、两个SMU进行标准化设计，以后通过简单地修改测试脚本即可重新用于其它的应用。 登录吉时利官方微博（ http://weibo.com/keithley ）与专家进行互动，还可以免费索取WB/263: 免费索取《数据采集、测量与控制手册》哦~（ http://www.keithley.cn/LLM/land/llm/ ） 2602 http://www.keithley.com.cn/products/localizedproducts/currentvoltage/2602 TSP板载测试脚本处理器 http://www.keithley.com.cn/events/proddemos/newdemofolder/TSP.html 晶圆级的自动化半导体特征分析－ACS集成系统 http://www.keithley.com.cn/semi/acs
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智能仪器（第3版）-(国家精品课程教材)-程德福-林君主编
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光电仪器原理与设计目录 前言 第一章光电仪器设计概论 第一节光电仪器的发展与特点 一、光电仪器的发展历程 二、光电仪器的特点 第二节光电仪器的分类与组成 一、光电仪器的分类 二、光电仪器的组成 三、光电仪器设计的研究对象 第三节总体设计的基本观点及设计步骤 一、总体设计方法 二、新仪器的设计步骤 三、光电仪器设计的研究方法 参考文献 第二章现代仪器设计方法 第一节设计方法学 一、设计方法学的发展历程 二、设计方法学的研究对象和方法 第二节人机工程学 一、仪器参数的设计 二、仪器性能的提高 三、操作者主观感受的改善 第三节 优化设计方法 一、优化设计方法及步骤 二、优化设计实例 第四节有限元分析 一、有限元分析概述 二、有限元分析实例 第五节可靠性设计 一、可靠性的评价指标 二、可靠性的分配方法 参考文献 第三章仪器精度分析与设计 第一节仪器的误差与精度 一、误差的基本概念 二、精度的含义和仪器的精度指标 三、仪器误差的来源 第二节仪器误差的分析与计算 一、微分法 二、几何法 三、逐步投影法 四、其他方法 第三节仪器误差的合成 一、随机误差的合成 二、系统误差的合成 三、不同性质误差的合成 四、仪器误差合成实例 第四节仪器精度的分配 一、仪器精度的分配方法 二、仪器精度分配实例 第五节提高精度的基本设计原则 一、阿贝原则及其扩展 二、光学自适应原则 三、圆周封闭原则 四、其他相关原则 第六节仪器误差的补偿方法 参考文献 第四章光源与照明系统 第一节光源的基本特性参数 一、有关光源的几个基本概念 二、选择光源时要注意的几个问题 第二节光电仪器中常用的光源 一、热辐射光源 二、气体光源 三、发光二极管 四、激光光源 第三节目标类型 一、点光源 二、线光源 三、面光源 第四节照明系统 一、对照明系统的要求 二、设计照明系统时要遵循的原则 三、照明方式及其结构尺寸 四、对照明系统像差的考虑 参考文献 第五章光学元件的选择与调整 第一节几何光学元件 一、透镜 二、反射镜 三、棱镜 第二节物理光学元件 一、光栅 二、偏振器与波片 第三节新型光学元件 一、光纤 二、微小光学元件 第四节光学元件的误差分配与装配 校正 一、光学元件的误差分配 二、光学元件的装配校正 参考文献 第六章光电探测器 第一节光电探测器的性能参数 一、光学特性参数 二、光电转换特性参数 三、电学特性参数 第二节光电探测器的工作原理与分类 一、光电探测器的物理效应 二、光电子发射探测器 三、光电导探测器 四、光伏探测器 五、热探测器 第三节光电探测器应用实例 一、三维坐标测量——PSD 二、光强检测——光敏二极管 三、光谱分析——线阵CCD 参考文献 第七章标准量与标准器 第一节计量标准概述 一、国际单位制（SI） 二、量值的传递方法 第二节标尺与度盘 一、标尺的分类和特点 二、标尺的误差和精度等级 三、度盘及其误差 四、度盘参数的选择 第三节计量光栅 一、计量光栅及分类 二、莫尔条纹的形成原理 三、莫尔条纹的种类和特点 四、莫尔条纹的读数原理与绝对测量 五、计量光栅参数的选择 六、计量光栅误差分析 第四节光学编码度盘 一、光学编码度盘与编码 二、光学编码度盘的参数选择 第五节光波长 参考文献 第八章运动与对准 第一节结构设计的基本原则 一、运动学原则 二、变形最小原则 第二节微位移机构 一、微位移技术简介 二、机械式微位移机构 三、压电、电致伸缩器件 第三节光学与光电瞄准 一、光学瞄准 二、光电显微镜 三、光电自动对准系统 第四节轴向对准 一、像散法 二、斜光束法 三、偏心光束法 四、临界角法 五、精密自动定位器设计实例 参考文献 第九章典型仪器的原理与分析 第一节激光干涉仪 一、干涉测长的基本原理 二、单元部件分析 三、干涉仪的发展及应用领域 第二节光学轮廓仪 一、光学轮廓仪的基本原理 二、单元部件分析 三、光学轮廓仪的发展及应用领域 第三节共焦显微镜 一、基本原理 二、单元部件分析 三、共焦显微镜的应用领域 第四节投影仪 一、计量投影仪的基本原理 二、单元部件分析 三、投影仪的发展趋势 第五节光谱仪 一、光谱仪的基本组成 二、光谱仪的评价指标 三、光谱仪的发展及应用领域 参考文献
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