原创探针台是怎样工作的

 2024-10-25 10:46  59 2 2 分类: 测试测量文集: 探针台

探针台将晶圆或芯片固定在安装在平台上的卡盘上，该平台允许将 DUT 定位在显微镜视野的中心。

机械手放置在平台的平面上，并在机械手中插入探针臂和jian端。探头jian端必须适合要执行的测试程序。然后，用户通过调整相应的操纵器将探针jian端精确定位在设备内的正确位置。然后通过降低压板使探针与晶片接触；现在可以测试该设备。对于具有多个器件的晶圆，在测试第一个器件后，可以升起压板并将支撑晶圆的平台移动到下一个器件。重复定位探针jian端的过程，直到测试完所有必需的设备。这个过程都可以由操作员手动完成，但如果载物台和机械手是电动的，并且显微镜连接到计算机视觉系统，那么这个过程可以变成半自动或全自动。这可以提高探针台的生产力和吞吐量，并减少运行多个测试所需的劳动力。