微电子制造中的静电问题都是存在于众多微小的细节之中。 微电子制造中存在大量的生产工序会产生并累积静电。 静电的直接影响之一就是通过静电感应作用将临近的微电子器件(确切而言,是其中的大量金属线路)充电至高静电位。 而微电子制造中涉及的许多电气测试机台(IC封测工厂就含有大量的电测工序),就是典型的CDM(Charged Device Model,器件带电放电模型) ESD关键工序(100%会发生CDM ESD),由此导致微电子器件的电性不良风险(主要是器件中的绝缘膜层漏电流过大,如gate oxide)必须得到重视并采取有效的管控措施; 而电气测试机台中的testing socket(测试插座)尤其是其中的器件装载导引机构大都采用绝缘塑胶或陶瓷材质,每颗器件的测试过程都会发生器件封装体与testing socket导引机构件之间的摩擦静电起电,随着测试机台测试越来越多的器件,如果testing socket上累积的静电得不到及时的有效消除,越到后面测试的器件发生CDM ESD导致的电气失效不良风险就越高。 当前基于28nm制程及以下的IC已经占比将近50%,其最高承受的CDM ESD电压大部分不超过100V。其中,最新的7nm、5nm制程的5G IC,CDM耐压更是降至50V以下,这种IC的设计与制程变化,给集成电路前段制造-Wafer Fab、集成电路后段制造-封装与测试、以及SMT工厂的生产工艺中的ESD防护带来了非常大的挑战。