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基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计维普资讯http://www.cqvip.com基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计赵继德,李应良,马传龙。(1.烟台师范学院物理与电子工程学院,山东烟台264025;2.华信邮电咨询设计研究院有限公司,杭州I310014;3.重庆通信学院,重庆400014)摘要:应用计算机辅助设计了一种基于共面波导结构的MEMS带阻滤波器。研究了微尺度电磁学、力学、温度等效应。利用ANSOF的HFSS软件模拟分析了滤波器的损耗参数,并应用ANSYS软件分析复合结构的热应力分布,得出了阻带中心频率在18GHz的MEMS带阻滤波器件,提供了一些有意义的理论分析及应用。关键词:射频微机电系统;滤波器;共面波导;阻带;微尺度效应中图分类号:TN713.5;TN402文献标识码:A文章编号:1003―353X(2005)08―0034―04DesignofMEMSCoplanarWaveguideCavityBandstopFilterZHAOJi-de.LIYing……