基于MEMS共面波导腔的带阻滤波器的设计维普资讯 http://www.cqvip.com 基于 Ｍ 　 Ｅ 　 Ｍ 　 Ｓ共面 波导 腔 的 带 阻滤 波器 的设 计　 赵 继 德　， 李 应 良　， 马 传 龙 。 　 （ １ ． 烟 台师范学院物 理与 电子 工程 学院 ，山 东 烟 台 ２ ６ ４ ０ ２ ５； 　 ２ ． 华信 邮电咨询设计研 究院有限公 司， 杭州 Ｉ 　３ １ ０ ０ １ ４ ； ３ ． 重庆通信学院 ， 重庆 ４ ０ ０ ０ １ ４ ） 　 摘 要 ： 应 用 计 算 机 辅 助 设 计 了一 种 基 于 共 面 波 导 结 构 的 Ｍ Ｅ Ｍ Ｓ带 阻 滤 波 器 。研 究 了 微 尺 度 电磁 学 、 　 力学 、温 度 等 效 应 。 利 用 Ａ ＮＳ ＯＦ的 Ｈ Ｆ Ｓ Ｓ软 件 模 拟 分 析 了滤 波器 的 损 耗 参 数 ， 并 应 用 Ａ ＮＳ ＹＳ软 件 分 析 复 　 合 结 构 的 热 应 力 分 布 ，得 出 了 阻带 中 心 频 率 在 １ 　 ８ ＧＨｚ的 Ｍ Ｅ ＭＳ带 阻 滤 波 器 件 ，提 供 了一 些 有 意 义 的理 论 　 分析及应 用。 　 关 键 词 ： 射 频 微 机 电 系 统 ； 滤 波 器 ； 共 面 波 导 ； 阻 带 ； 微 尺 度 效 应　 中 图分 类 号 ：Ｔ Ｎ７ １ ３ 　 ． ５ ；Ｔ Ｎ４ ０ ２ 　 文 献 标 识 码 ：Ａ 　 文章编号 ：１ ０ ０ ３ ― ３ ５ ３ Ｘ（ ２ ０ ０ ５ ） ０ ８ ― ０ ０ ３ ４ ― ０ ４ 　 Ｄｅ ｓ ｉ ｇ ｎ 　 ｏ ｆ 　 Ｍ ＥＭ Ｓ 　 Ｃｏ ｐｌ ａ ｎａ ｒ 　 Ｗ ａ ｖｅ ｇ ｕｉ ｄｅ 　 Ｃａ ｖｉ ｔ ｙ 　 Ｂａ ｎｄｓ ｔ ｏ ｐ 　 Ｆｉ ｌ ｔ ｅ ｒ 　 ＺＨＡ Ｏ　 Ｊ ｉ － ｄ ｅ 　 ． ＬＩ 　 Ｙｉ ｎ ｇ ……